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來源：TechWeb 據(jù)外媒報道，在三星電子嘗試重構(gòu)EUV光刻膠供應鏈的推動下，東進世美肯所研發(fā)的極紫外光刻膠，已在去年年底被用于他們的一條量產(chǎn)工藝線。 而相關(guān)媒體最新的報道顯示，所研發(fā)的極紫外光刻膠已進入三星電子量產(chǎn)線的東進世美肯，也在準備為下一代的極紫外光刻機，也就是高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機（high-NA EUV）研發(fā)光刻膠。 相關(guān)媒體在報道中表示，東進世美肯研發(fā)高數(shù)值孔徑極紫外光刻機投產(chǎn)后所需的光刻膠，是為了滿足阿斯麥這一類極紫外光刻機大量投產(chǎn)之后的需求。 阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機，是他們在推出TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D等多個型號的極紫外光刻機之后，所研發(fā)的新一代產(chǎn)品，將沿用EXE系列的命名，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個型號。 阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機，數(shù)值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝，首臺交由客戶用于制程工藝研發(fā)的產(chǎn)品，計劃在今年年底出貨，用于大規(guī)模生產(chǎn)的，預計2025年開始在客戶的工廠全面投入運營。 |
