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日本彎道超車向美國取經(jīng) 最先進(jìn)的2nm EUV工藝學(xué)到手

發(fā)布時(shí)間:2023-6-1 09:48    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 日本 , 2nm , EUV
來源:快科技

半導(dǎo)體工藝落后世界先進(jìn)水平20多年之后,日本去年決心要重振晶圓制造,豐田、索尼、瑞薩等8家行業(yè)巨頭聯(lián)合成立了Rapidus公司,計(jì)劃最快在2025年搞定2nm EUV工藝。

日本當(dāng)前的工藝也就是45nm水平,直接進(jìn)入2nm無異于彎道超車,為此Rapidus公司跟美國IBM公司達(dá)成了合作,要從后者那里獲得2nm技術(shù)授權(quán)。

Rapidus公司將派出100名工程師到IBM公司學(xué)習(xí),將獲得2nm工藝生產(chǎn)所需的GAA環(huán)繞柵極晶體管技術(shù),這是實(shí)現(xiàn)2nm的關(guān)鍵。

此前的4月份Rapidus已經(jīng)派出一批工程師到IBM商談合作了。

根據(jù)Rapidus公司的建設(shè)計(jì)劃,他們將在日本北海道地區(qū)建立晶圓廠,2023年9月份開工,2024年6月份完成廠房基礎(chǔ)設(shè)施,并開始潔凈室建設(shè)。

2025年4月開始運(yùn)營一條試驗(yàn)性生產(chǎn)線,并引進(jìn)EUV光刻機(jī)等設(shè)備,目標(biāo)是2027年開始大規(guī)模量產(chǎn)2nm工藝——這個進(jìn)度比臺積電、三星及Intel量產(chǎn)2nm節(jié)點(diǎn)工藝只晚了1-2年。

不僅要量產(chǎn)2nm工藝,Rapidus公司還計(jì)劃在2030年代實(shí)現(xiàn)每年1萬億日元的營收,約合人民幣510億或者72億美元。
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