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日本彎道超車向美國取經 最先進的2nm EUV工藝學到手

發布時間:2023-6-1 09:48    發布者:eechina
關鍵詞: 日本 , 2nm , EUV
來源:快科技

半導體工藝落后世界先進水平20多年之后,日本去年決心要重振晶圓制造,豐田、索尼、瑞薩等8家行業巨頭聯合成立了Rapidus公司,計劃最快在2025年搞定2nm EUV工藝。

日本當前的工藝也就是45nm水平,直接進入2nm無異于彎道超車,為此Rapidus公司跟美國IBM公司達成了合作,要從后者那里獲得2nm技術授權。

Rapidus公司將派出100名工程師到IBM公司學習,將獲得2nm工藝生產所需的GAA環繞柵極晶體管技術,這是實現2nm的關鍵。

此前的4月份Rapidus已經派出一批工程師到IBM商談合作了。

根據Rapidus公司的建設計劃,他們將在日本北海道地區建立晶圓廠,2023年9月份開工,2024年6月份完成廠房基礎設施,并開始潔凈室建設。

2025年4月開始運營一條試驗性生產線,并引進EUV光刻機等設備,目標是2027年開始大規模量產2nm工藝——這個進度比臺積電、三星及Intel量產2nm節點工藝只晚了1-2年。

不僅要量產2nm工藝,Rapidus公司還計劃在2030年代實現每年1萬億日元的營收,約合人民幣510億或者72億美元。
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