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集成式微操作器的研制

發布時間：2010-3-8 15:49    發布者：irobot
關鍵詞： 操作器 , 式微 , 研制
內容預覽：微操作器是微操作機器人的關鍵部件，本文基于壓電掃描器的工作原理，研制出壓電陶瓷管驅動的三自由度微操作器，通過對四分壓電陶瓷管的變形進行靜力學分析，建立了微操作器微位移量與驅動電壓的關系模型，研制出微位移檢測電路，實現了微操作器機構、驅動、檢測的集成化，設計了微位移閉環控制實驗系統，對微操作器進行了靜態、動態測試，得到了微操作器的主要性能指標。實驗表明，所研制的微操作器能夠滿足微納米定位精度的微操作需要。

下載： 集成式微操作器的研制.pdf (429.05 KB)
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