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內(nèi)容預(yù)覽：微操作器是微操作機(jī)器人的關(guān)鍵部件，本文基于壓電掃描器的工作原理，研制出壓電陶瓷管驅(qū)動(dòng)的三自由度微操作器，通過對四分壓電陶瓷管的變形進(jìn)行靜力學(xué)分析，建立了微操作器微位移量與驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系模型，研制出微位移檢測電路，實(shí)現(xiàn)了微操作器機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)、檢測的集成化，設(shè)計(jì)了微位移閉環(huán)控制實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，對微操作器進(jìn)行了靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測試，得到了微操作器的主要性能指標(biāo)。實(shí)驗(yàn)表明，所研制的微操作器能夠滿足微納米定位精度的微操作需要。 下載： 
集成式微操作器的研制.pdf
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