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日本Dry Chemicals采用新工藝將SiC晶圓制造成本降低30%

發布時間：2023-9-12 09:51    發布者：eechina
關鍵詞： 日本 , Dry , Chemicals , SiC , 晶圓
來源：汽車電子應用網

據日刊工業新聞報道，近期，日本Dry Chemicals開發出一種新的工藝，能夠將功率半導體材料碳化硅(SiC)晶圓的制造成本降低20-30%。

該新工藝的要點是在晶錠上進行開槽，使晶圓切片更加平整，從而減少晶圓表面研磨、拋光等后處理所需的步驟，只需要在切割后立即進行鏡面研磨、化學機械拋光（CMP）、清潔和檢查即可獲得成品。

據悉，Dry Chemicals將于10月份開始晶圓代加工，并且對外銷售制造設備，預計第一年銷售5-10臺。
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