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話說，生產(chǎn)光刻機(jī)的荷蘭ASML公司正在備受煎熬。中芯國(guó)際向他們訂購了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，可發(fā)貨過程遭到了美國(guó)人的阻撓。賣，還是不賣，這對(duì)ASML來說的確是個(gè)問題。 我們先讓荷蘭人糾結(jié)一會(huì)兒。我們今天談的是另一家光刻機(jī)生產(chǎn)商：佳能。 我們知道，除了荷蘭的ASML，還有兩家日企也生產(chǎn)光刻機(jī)：尼康和佳能。但如今，只有ASML才能生產(chǎn)最尖端的EUV光刻機(jī)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不僅需要最高端設(shè)備，還需要一些多樣化的設(shè)備，所以這兩家日企的存在仍然具有重要價(jià)值。近日，佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理牧野晶先生和佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司副總經(jīng)理五十嵐文生先生在2020年佳能半導(dǎo)體業(yè)務(wù)50周年紀(jì)念媒體溝通會(huì)上向我們介紹了該公司的發(fā)展歷史和最新狀況。 佳能光刻機(jī)發(fā)展歷程 50年前，即1970年，佳能推出了日本國(guó)內(nèi)首臺(tái)半導(dǎo)體光刻設(shè)備PPC-1，并順應(yīng)半導(dǎo)體制造業(yè)的要求逐步推出了其他類型的設(shè)備。特別是1978年，佳能推出了PLA500、600型號(hào)設(shè)備，這是真正意義上第一臺(tái)日本半導(dǎo)體制造工廠的量產(chǎn)設(shè)備。之后，1981年佳能又推出了MPA500、600系列設(shè)備。 1984年，佳能推出了G line（G線）步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-1550，該設(shè)備也是目前佳能步進(jìn)式光刻機(jī)最早的一個(gè)原型。在此之后，隨著半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)于線寬更精細(xì)化的要求，佳能在1990年和1996年相繼推出了I line（I線）的步進(jìn)式光刻機(jī)和Krf掃描式光刻機(jī)。 除了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，佳能還生產(chǎn)顯示面板生產(chǎn)設(shè)備。佳能在1986年推出第一臺(tái)MPA1500，該設(shè)備實(shí)際上是MPA500、600設(shè)備的改進(jìn)，即采用了半導(dǎo)體光刻機(jī)的技術(shù)，用來制造更大尺寸的面板。 回頭再說半導(dǎo)體。2001年，佳能推出了針對(duì)12寸晶圓的光刻設(shè)備，在這之后又推出了12寸晶圓用的Krf步進(jìn)式掃描式光刻機(jī)設(shè)備。在2017年佳能也推出了世界上第一臺(tái)納米級(jí)別的量產(chǎn)壓印設(shè)備。 和半導(dǎo)體設(shè)備類似，隨著顯示面板對(duì)于尺寸的不斷變大的需求，佳能的顯示面板設(shè)備也在不斷地進(jìn)化。佳能最新的進(jìn)展是2018年推出的H1003新型設(shè)備，用于第八代顯示面板。 截至2019年年底，佳能的顯示面板光刻機(jī)和半導(dǎo)體光刻機(jī)的銷售量已經(jīng)將近5600臺(tái)。 佳能的半導(dǎo)體光刻機(jī)戰(zhàn)略 由于物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)于半導(dǎo)體器件的需求也正在變得越來越多樣化。除了存儲(chǔ)器、中央處理器等核心器件，我們生活中需要越來越多的傳感器及電源控制等芯片，目前這方面的需求在不斷增長(zhǎng)。同樣，顯示屏應(yīng)用的需求也在增長(zhǎng)。過去，佳能比較熟悉的是電視機(jī)產(chǎn)業(yè)對(duì)于顯示屏的需求。目前，越來越多的新應(yīng)用對(duì)于顯示屏的需求也是在不斷地增加。 對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展，我們通常沿著“摩爾定律”來思考，即線寬做得越來越細(xì)。實(shí)際上，還存在“超越摩爾”的部分，也就是它不單純地追求更小的線寬，而是在現(xiàn)有的線寬水平上制作出新的器件，如前面提到的傳感器，這種器件今后會(huì)更大量的應(yīng)用。針對(duì)各個(gè)細(xì)分市場(chǎng)的不同的要求，佳能也開發(fā)了不同的設(shè)備。 簡(jiǎn)單地說，佳能的半導(dǎo)體光刻設(shè)備產(chǎn)品線包括：I線光源（365nm波長(zhǎng)）光刻機(jī)、Krf光刻機(jī)（248nm波長(zhǎng)）以及佳能在2018年推出的世界上首臺(tái)納米壓印量產(chǎn)設(shè)備。 牧野晶先生特別介紹了佳能的3030系列設(shè)備，其前身是二代設(shè)備3000。佳能公司在上世紀(jì)90年代開發(fā)的這臺(tái)設(shè)備，當(dāng)時(shí)是用來做普通的半導(dǎo)體設(shè)備。隨著物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的興起，市場(chǎng)對(duì)新材料（如砷化鎵、氮化鎵）器件的需求越來越多。針對(duì)這一市場(chǎng)，佳能把90年代開發(fā)的設(shè)備進(jìn)行了復(fù)刻，開發(fā)了這個(gè)叫3030的設(shè)備。該半導(dǎo)體光刻機(jī)的特別之處在于，它可針對(duì)客戶的不同需求提供各種不同產(chǎn)品線，這是佳能光刻設(shè)備戰(zhàn)略最大的一個(gè)特點(diǎn)。 顯示屏相關(guān)的光刻設(shè)備也存在類似的情形。例如手機(jī)屏，有高像素的要求，也有大尺寸的要求。針對(duì)不同尺寸的面板制造，以及不同解析度的面板制造要求，佳能都有相應(yīng)規(guī)格的設(shè)備可以提供給客戶。 佳能集團(tuán)和中國(guó)市場(chǎng) 佳能集團(tuán)公司是一個(gè)全球性的公司，在全球各地有自己的分支機(jī)構(gòu)，在各地有相關(guān)的業(yè)務(wù)。整個(gè)佳能集團(tuán)在全球有將近20萬員工。佳能集團(tuán)主要業(yè)務(wù)集中在歐洲、亞太地區(qū)還有美國(guó)等地區(qū)。目前佳能在中國(guó)地區(qū)也很多業(yè)務(wù)，其辦事處遍布于國(guó)內(nèi)共18個(gè)主要城市。佳能中國(guó)總部設(shè)在上海。 佳能認(rèn)為全世界對(duì)半導(dǎo)體的需求在不斷增加的。對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)，佳能認(rèn)為是一個(gè)非常有潛力的市場(chǎng)。佳能的光刻機(jī)設(shè)備目前是在日本國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的，但是佳能在中國(guó)也設(shè)立了其他許多產(chǎn)品的工廠。 佳能公司所有的半導(dǎo)體光刻設(shè)備都可以面向中國(guó)客戶銷售。目前中國(guó)市場(chǎng)上客戶使用最多的是2000年開始銷售的I line的5500系列步進(jìn)式光刻機(jī)，到目前為止將近20年了，現(xiàn)在也是不斷地推出一些新的型號(hào)，對(duì)它進(jìn)行改進(jìn)和改良。佳能I線這一塊細(xì)分市場(chǎng)的份額達(dá)到80%。 佳能針對(duì)整個(gè)全球市場(chǎng)在做產(chǎn)品的規(guī)劃和布局，并沒有單獨(dú)地針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)去做一款特別定制的設(shè)備，只在中國(guó)銷售的設(shè)備。但是同時(shí)，佳能也知道中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)是一個(gè)需求非常多樣化的市場(chǎng)。 佳能認(rèn)為在2020年中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)可以首先達(dá)到世界上一流水平，但半導(dǎo)體芯片制造還是存在一些差距的。半導(dǎo)體芯片的制造設(shè)備和材料是全球共通的，是可以購得的（實(shí)際上不見得如此），中國(guó)的資金也是不用懷疑的。比較大的難題是工藝和人才。當(dāng)然中國(guó)有非常優(yōu)秀的人才，但是面對(duì)大規(guī)模集成電路制造工藝的飛速發(fā)展，目前中國(guó)儲(chǔ)備的這些資源，并不能夠完全跟上這個(gè)發(fā)展的速度。 關(guān)于中國(guó)市場(chǎng)的特殊需求，牧野晶先生舉例說，中國(guó)有廠家希望在硅基板上做顯示器。實(shí)際上世界上其他地方也有類似需求，但通常是做研發(fā)或小量的開發(fā)。中國(guó)客戶真的有量產(chǎn)計(jì)劃，這樣的需求目前只有中國(guó)有。他說，也許佳能現(xiàn)有的設(shè)備不能立即滿足客戶的要求，但佳能在與這些客戶做一些非常詳細(xì)的技術(shù)交流，佳能還是認(rèn)為是有可能性的，會(huì)盡最大的努力為客戶提供相應(yīng)的解決方案。通過這類案例，佳能看到了中國(guó)客戶獨(dú)特的創(chuàng)新精神，這也是佳能認(rèn)為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將來一定會(huì)發(fā)展得好的原因之一。 |
