隨著科技發(fā)展,電子產(chǎn)品的體積日趨輕薄短小,通盲孔上直接疊孔是獲得高密度互連的設(shè)計(jì)方法。要做好疊孔,首先應(yīng)將孔底平坦性做好。典型的平坦孔面的制作方法有好幾種,電鍍填孔工藝是最具代表性的一種。電鍍填孔工藝可以減少額外制程開(kāi)發(fā)的必要性,也與現(xiàn)行的工藝設(shè)備兼容,有利于獲得良好的可靠性。 中國(guó)IC交易網(wǎng) 本文就針對(duì)基板這一因素做出分析,基板對(duì)電鍍填孔的影響是不可忽視的,一般包含介質(zhì)層材料、孔形、厚徑比、化學(xué)銅鍍層等因素。 1、介質(zhì)層材料 介質(zhì)層材料對(duì)填孔有影響,與玻纖增強(qiáng)材料相比,非玻璃增強(qiáng)材料更容易填孔。值得注意的是,孔內(nèi)玻纖突出物對(duì)化學(xué)銅存在不利影響。在這種情況下,電鍍填孔的難點(diǎn)在于提高化學(xué)鍍層種子層(seed layer)的附著力,而非填孔工藝本身。 事實(shí)上,在玻纖增強(qiáng)基板上電鍍填孔已經(jīng)應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)中。 2、厚徑比 目前針對(duì)不同形狀、不同尺寸孔的填孔技術(shù),不論是制造商還是開(kāi)發(fā)商都對(duì)其非常重視。填孔能力受孔厚徑比的影響很大,相對(duì)來(lái)講,DC系統(tǒng)在商業(yè)上應(yīng)用更多。在生產(chǎn)中,孔的尺寸范圍將更窄,一般直徑80pm~120Bm,孔深40Bm~8OBm,厚徑比不超過(guò)1:1。 3、化學(xué)鍍銅層 化學(xué)銅鍍層的厚度、均勻性及化學(xué)鍍銅后的放置時(shí)間都影響填孔性能。化學(xué)銅過(guò)薄或厚度不均,其填孔效果都較差。通常,建議化學(xué)銅厚度>0.3pm時(shí)進(jìn)行填孔,此外,化學(xué)銅的氧化對(duì)填孔效果也有負(fù)面影響。
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