隨著科技發展,電子產品的體積日趨輕薄短小,通盲孔上直接疊孔是獲得高密度互連的設計方法。要做好疊孔,首先應將孔底平坦性做好。典型的平坦孔面的制作方法有好幾種,電鍍填孔工藝是最具代表性的一種。電鍍填孔工藝可以減少額外制程開發的必要性,也與現行的工藝設備兼容,有利于獲得良好的可靠性。 中國IC交易網 本文就針對基板這一因素做出分析,基板對電鍍填孔的影響是不可忽視的,一般包含介質層材料、孔形、厚徑比、化學銅鍍層等因素。 1、介質層材料 介質層材料對填孔有影響,與玻纖增強材料相比,非玻璃增強材料更容易填孔。值得注意的是,孔內玻纖突出物對化學銅存在不利影響。在這種情況下,電鍍填孔的難點在于提高化學鍍層種子層(seed layer)的附著力,而非填孔工藝本身。 事實上,在玻纖增強基板上電鍍填孔已經應用于實際生產中。 2、厚徑比 目前針對不同形狀、不同尺寸孔的填孔技術,不論是制造商還是開發商都對其非常重視。填孔能力受孔厚徑比的影響很大,相對來講,DC系統在商業上應用更多。在生產中,孔的尺寸范圍將更窄,一般直徑80pm~120Bm,孔深40Bm~8OBm,厚徑比不超過1:1。 3、化學鍍銅層 化學銅鍍層的厚度、均勻性及化學鍍銅后的放置時間都影響填孔性能。化學銅過薄或厚度不均,其填孔效果都較差。通常,建議化學銅厚度>0.3pm時進行填孔,此外,化學銅的氧化對填孔效果也有負面影響。
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