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來源：科技日報 純度要求達(dá)到99.999999999%的電子級多晶硅終于量產(chǎn)。記者6日從江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司獲悉，經(jīng)過一系列嚴(yán)格驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨。這標(biāo)志著我國半導(dǎo)體集成電路用硅料已經(jīng)達(dá)到國際一流質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。 電子級多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，過去中國市場上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進(jìn)口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。相對于太陽能級多晶硅99.9999%純度，電子級多晶硅的純度要求達(dá)到99.999999999%。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質(zhì)含量相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量。 2015年12月，鑫華半導(dǎo)體由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資，建設(shè)國內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級多晶硅生產(chǎn)線。去年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導(dǎo)體正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。 目前，該電子級多晶硅已通過客戶驗證并形成規(guī)模化銷售，打破長期以來國外高純度材料壟斷，填補該產(chǎn)業(yè)國內(nèi)技術(shù)空白。鑫華半導(dǎo)體公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，可保證國內(nèi)企業(yè)3至5年內(nèi)電子級多晶硅不會缺貨，產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造需求。同時，還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足國際國內(nèi)市場。 |
