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全自動高速晶圓級參數(shù)測試解決方案面向最新的功率半導(dǎo)體器件，包括高達(dá)3 kV的SiC和GaN 泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，這是為高達(dá)3kV的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)提供的一種全自動48針參數(shù)測試系統(tǒng)。全集成S540是為用于最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料而優(yōu)化的，包括金剛砂(SiC)和氮化鎵(GaN)，可以在一個探頭接入中執(zhí)行所有高壓測試、低壓測試和電容測試。 
隨著對功率半導(dǎo)體器件的需求不斷提高，同時也隨著SiC和GaN日益商業(yè)化，制造商正在生產(chǎn)工藝中采用晶圓級測試，以優(yōu)化良品率，改善盈利能力。對這些應(yīng)用，S540最大限度地縮短了測試時間和測試設(shè)置時間，減少了占用空間，同時實現(xiàn)了實驗室級高壓測量性能，降低了擁有成本。 “許多鑄造廠正使用定制的混合測試系統(tǒng)，來執(zhí)行功率半導(dǎo)體測試，在從低壓測試轉(zhuǎn)向高壓測試時，這要求手動改變測試設(shè)置。正如大家預(yù)想的一樣，這會增加工藝步驟，延緩生產(chǎn)速度。”泰克科技公司吉時利產(chǎn)品線總經(jīng)理Mike Flaherty說，“相比之下，S540是一種完整的全集成解決方案，特別適合必須迅速測試各種器件的生產(chǎn)環(huán)境。” 為提供生產(chǎn)級性能，S540可以在最多48針上執(zhí)行參數(shù)測量，而不用改變電纜或探頭插件設(shè)施。它還可以執(zhí)行高達(dá)3kV的晶體管電容測量，如Ciss、Coss和Crss，而無需手動重新配置測試引腳。S540還提供了pA級測量性能，可以在不到1秒內(nèi)執(zhí)行全自動高壓泄漏電流測試，進(jìn)一步提升了測試產(chǎn)出。 作為標(biāo)準(zhǔn)商業(yè)產(chǎn)品，S540提供了可以全面追蹤的系統(tǒng)指標(biāo)，滿足安全規(guī)范，并提供了診斷功能及全球服務(wù)和支持，而內(nèi)部開發(fā)或定制的系統(tǒng)經(jīng)常會缺失這些功能。S540秉承吉時利30余年的半導(dǎo)體參數(shù)測試經(jīng)驗，把行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體測試儀器與高低壓開關(guān)矩陣、線纜、探頭插件適配器、探頭驅(qū)動器和測試軟件整合在一起。 |
