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優(yōu)化電纜連接技術(shù)改善晶圓上測量結(jié)果

發(fā)布時間：2014-2-26 15:05    發(fā)布者：eechina
關(guān)鍵詞： 電纜連接 , 晶圓
完全分析所有材料和器件需要進(jìn)行精密直流、交流阻抗以及超快 I-V或脈沖 I-V測量。將測試設(shè)備連接到半自動或手動探測臺的復(fù)雜性會使晶圓上的準(zhǔn)確測量變得更為復(fù)雜。本文分析了直流、多頻電容、超快 I-V和脈沖測試以及正確接地和屏蔽的重要性，為特定測量選擇正確的互連方式，并排除常見的互連故障。

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