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并聯(lián)式四自由度定位平臺(tái)性能優(yōu)化

發(fā)布時(shí)間：2010-2-28 10:27 發(fā)布者：蹦蹦

關(guān)鍵詞：并聯(lián)式 , 平臺(tái) , 性能 , 自由度

摘要：為了擴(kuò)展掃描電鏡的用途，實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)物性在線檢測，本文基于4-PUU并聯(lián)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)了一種掃描電鏡定位平臺(tái)。其結(jié)構(gòu)簡單，便于集成微操作裝置。為優(yōu)化平臺(tái)機(jī)構(gòu)的性能，本文建立了4-PUU機(jī)構(gòu)的空間尺寸模型，繪制了機(jī)構(gòu)性能圖譜，分析了機(jī)構(gòu)參數(shù)對(duì)機(jī)構(gòu)可達(dá)工作空間、靈巧性、速度性能的影響，得到了具有良好性能的平臺(tái)機(jī)構(gòu)參數(shù)。

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并聯(lián)式四自由度定位平臺(tái)性能優(yōu)化.pdf (519.51 KB)

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