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日本佳能推出納米壓印半導體制造設備，可執行電路圖案轉移

發布時間：2023-10-14 08:38 發布者：eechina

關鍵詞：佳能 , 納米壓印 , 半導體制造 , 電路圖案轉移

來源：財聯社

10月13日電，日本佳能公司10 月13日宣布推出FPA-1200NZ2C納米壓印半導體制造設備，該設備執行電路圖案轉移，這是最重要的半導體制造工藝。

據佳能介紹，傳統的光刻設備通過將電路圖案投射到涂有抗蝕劑的晶圓上，而新產品通過在晶圓上的抗蝕劑上壓印有電路圖案的掩模來實現這一點，就像郵票一樣。由于其電路圖案轉移過程不經過光學機構，因此可以在晶圓上忠實地再現掩模上的精細電路圖案。

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