|
來源：快科技 去年底臺(tái)積電宣布3nm量產(chǎn)，預(yù)計(jì)今年年中之后在終端層面開始大規(guī)模應(yīng)用。 隨后有業(yè)內(nèi)專家透露，臺(tái)積電3nm的良率可達(dá)80%，非常可觀。 然而，提前半年投產(chǎn)3nm的三星，則有些尷尬，據(jù)說良率僅20%。這個(gè)表現(xiàn)，難怪沒有大廠敢下單。 雖說三星上馬了GAA晶體管，技術(shù)難度高算是情有可原，然而和臺(tái)積電差距這么大顯然不是長久之計(jì)。 據(jù)DT報(bào)道，三星正在調(diào)整的一個(gè)優(yōu)化方案是，在3nm EUV光刻中引進(jìn)穿透率達(dá)90%的掩模保護(hù)膜，供應(yīng)商是本土公司S&S Tech。 EUV光刻與此案的ArF（氟化氬）曝光設(shè)備不同，光反射到鏡子后，再到晶片，因此光源損失很大。要想使光源損失降到最低，必須使用穿透率超過90%的EUV用保護(hù)膜，從而保護(hù)光罩。 三星這一調(diào)整，能否有效提高3nm GAA芯片的良率，還有待檢驗(yàn)。 |
