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來源：TechWeb 據(jù)國外媒體報(bào)道，光刻機(jī)制造商阿斯麥的CEO兼總裁彼得·維尼克(Peter Wennink)，在本周前往了韓國，出席華城半導(dǎo)體集群的動工儀式。 而外媒的報(bào)道顯示，在韓國期間，除了與韓國相關(guān)的業(yè)務(wù)，彼得·維尼克還透露了他們下一代極紫外光刻機(jī)，也就是多家客戶期待的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的消息。 從外媒的報(bào)道來看，彼得·維尼克是在當(dāng)?shù)貢r間周二于首爾的一場新聞發(fā)布會上，透露高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的消息的，他透露將在2024年開始出貨。 此外，彼得·維尼克在會上還透露，就長期而言，他們計(jì)劃每年生產(chǎn)20臺高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。 阿斯麥官網(wǎng)公布的消息顯示，他們的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，將命名為EXE系列，數(shù)值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝。 從阿斯麥此前在財(cái)報(bào)中披露的消息來看，他們的EXE系列高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個型號，前者在2018年就已開始獲得客戶的訂單，后者在去年四季度也獲得了首臺訂單。 雖然彼得·維尼克透露他們的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)在2024年就將開始出貨，但后續(xù)還需要進(jìn)行安裝和測試，因而他們的客戶還需要一段時間才能投入生產(chǎn)。 阿斯麥在官網(wǎng)上也披露，他們向客戶供應(yīng)的首臺以研發(fā)為目的的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2023年底出貨，用于大規(guī)模生產(chǎn)的，預(yù)計(jì)2025年開始在客戶的工廠全面投入運(yùn)營。 |
