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真空濺射鍍膜是一種物理氣相沉積技術，濺射工藝是一種在靶材表面用離子轟擊靶材的技術。金屬膜或涂層通過蒸發、濺射和隨后在真空環境中冷凝而涂覆在金屬、玻璃、陶瓷、半導體和塑料部件上。 具體來講就是把惰性氣體(例如氬氣)填充到真空室中，并且通過使用高電壓，產生輝光放電以將離子加速到靶材料的表面。氬離子從表面轟擊(濺射)靶材，沉積在靶材前面的工件上。通常，其他氣體，如氮氣和乙炔，需要與濺射的靶材料反應以形成化合物膜。 濺射技術可以制備多種涂層，在裝飾涂層(如Ti、Cr、Zr、碳氮化物)上有很多優勢。由于制備的涂層非常光滑，這一優勢使得濺射技術廣泛應用于汽車市場的摩擦學領域。高能離子轟擊靶，提取原子并將其轉化為氣體，利用磁控濺射技術，可以濺射大量的材料。 
真空鍍膜機廣泛應用于各行各業，如家具、餐具、裝飾品、五金、電子產品、玻璃、軍工產品等。所以不同領域的電鍍產品需要不同的效果，所以采用不同的電鍍工藝。 真空鍍膜機要想鍍出好的膜，必須保證很多因素都處于正常狀態，比如真空鍍膜、基片與靶材的距離、蒸發溫度、基片溫度、殘余氣壓等。如果某個因素出現偏差，就會影響真空鍍膜機沉積薄膜的性能。 另外，真空鍍膜機為了達到理想的真空度，必須配備真空泵系統。因為鍍膜機需要在高真空環境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質。所以擴散泵是真空鍍膜機不可缺少的泵送部件之一，對于維護真空鍍膜機泵送系統的擴散泵使機器運行在最佳狀態是必不可少的。
在真空鍍膜機的運行過程中，雖然需要維護擴散泵，但是真空鍍膜機是由很多部件組成的，其中一個部件的故障會直接影響真空鍍膜機的正常運行。擴散泵的維護至關重要，其他部件的維護也是如此。 真空鍍膜機真空度檢測可以使用真空計，如工采網代理的瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 - MTCS2300系列，采用鎳鉑電阻MEMS技術， 將一個大微機械低應力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個補償用參考電阻，集成在微型封裝中。 |
