EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

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EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介 硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介            位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中，有2個(gè)振子腔體，2個(gè)振子的固有頻率之差就是差壓信號。

真空腔體中的振子是經(jīng)過精細(xì)加工的(H型諧振梁的長約700μm，寬約25μm，厚約5μm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接，所以當(dāng)單晶硅變形時(shí)，振子振動(dòng)頻率與壓力差成正比例，固有振動(dòng)頻率發(fā)生變化。

通過永磁體給振子一個(gè)磁場，振子的半片和剩余的半片構(gòu)成一個(gè)勵(lì)磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個(gè)振子的固有頻率之差轉(zhuǎn)換成差壓信號。將差壓信號轉(zhuǎn)換成4-20mA、脈沖或數(shù)字信號輸出。

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