一周前我們?cè)鴪?bào)道過(guò)臺(tái)灣華亞公司向著名光刻機(jī)廠商ASML下達(dá)了一份金額為2320萬(wàn)美元的設(shè)備訂單的消息,而最近有消息稱華亞又向這家光刻機(jī)廠商追加下達(dá)了一份價(jià)值為7460萬(wàn)美元的設(shè)備訂單.
按照ASML公司現(xiàn)有的光刻設(shè)備定價(jià)來(lái)估算,這次華亞很可能訂購(gòu)了三臺(tái)ASML生產(chǎn)的ArF光源(193nm波長(zhǎng))液浸式光刻機(jī),或者訂購(gòu)的可能是多臺(tái)KrF光源(248nm波長(zhǎng))干式光刻機(jī). 這兩輪光刻機(jī)采購(gòu)行為顯示華亞正在積極拓展其芯片廠的產(chǎn)能.
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