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來源：網(wǎng)易科技 9月8日，第三屆“未來科學(xué)大獎(jiǎng)”頒獎(jiǎng)典禮上林本堅(jiān)摘得三項(xiàng)大獎(jiǎng)之一的“數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)”。獎(jiǎng)金為100萬美元獎(jiǎng)金，使用方式不受限制。 林本堅(jiān)一系列突破性的創(chuàng)新所開拓的浸潤式微影（也稱光刻）方法，革新了集成電路的制程，使先進(jìn)半導(dǎo)體芯片的特征尺寸能持續(xù)縮減為細(xì)微納米量級(jí)，在過去十五年以及可預(yù)見的未來，為建造最強(qiáng)大的計(jì)算和通信系統(tǒng)做出了關(guān)鍵貢獻(xiàn)。 傳統(tǒng)的“干式”微影自1959年半導(dǎo)體工業(yè)界發(fā)明平面積成電路以來被持續(xù)使用了四十年，然而受限于基本光學(xué)衍射，在90年代后期，用該方法制造特征尺寸小于65納米的芯片面臨無法逾越的瓶頸。林本堅(jiān)預(yù)見昂貴的“干式”微影技術(shù)將進(jìn)入死角，建議使用浸潤式或“濕式”微影，該方法是一種新的微影工序，透過液體介質(zhì)置換透鏡和晶圓表面之間的氣隙以提高光學(xué)解析精度。雖然原始的浸潤式概念在80年代曾提出過，但距離可實(shí)現(xiàn)的方法很遠(yuǎn)。為使得全面表征及優(yōu)化浸潤式微影系統(tǒng)，林本堅(jiān)定義了并導(dǎo)出了關(guān)鍵性能指標(biāo)和縮放公式，為極高解析度的三維浸潤式微影光學(xué)系統(tǒng)規(guī)范了必須遵行的縮放定律。他還研發(fā)出克服液體中微氣泡形成的方法，開拓了在熱力學(xué)極限下，經(jīng)由水而衍射的微影工序。他的一系列發(fā)明在科學(xué)和工程上證實(shí)了“濕式”微影方法可用于最先進(jìn)的IC制程，他的突破性發(fā)明和持久的技術(shù)引領(lǐng)促使全球半導(dǎo)體工業(yè)界改用“濕式”微影方法。在過去的十五年中浸潤式微影方法用最有成本效益的193nm ArF為激光源顯影，將IC技術(shù)節(jié)點(diǎn)從65nm循產(chǎn)業(yè)路線圖持續(xù)降至7nm，使得摩爾定律得以持續(xù)延伸了七代。根據(jù)IEEE近期的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，浸潤式微影技術(shù)制造了至少世界上80％的晶體管。 自六十年前發(fā)明集成電路以來，半導(dǎo)體技術(shù)推動(dòng)了人類歷史上最大的工業(yè)及社會(huì)化革命。在慶祝集成電路誕生六十周年之際，將未來科學(xué)大獎(jiǎng)的數(shù)學(xué)和計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng) - 授予這位極具成就的科學(xué)家和發(fā)明家，半導(dǎo)體工業(yè)界的英雄，“浸潤式微影之父”不僅恰當(dāng)且意義深遠(yuǎn)。 公眾號(hào)“知識(shí)分子”介紹稱，正是因?yàn)樗陌l(fā)明，影響了世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)路徑，包括英特爾等在內(nèi)的一大批國際巨頭由此舍棄耗資巨大的研究積累追隨其技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，從此造就了臺(tái)灣半導(dǎo)體的輝煌成就，對(duì)臺(tái)灣科技業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)巨大。 林本堅(jiān)出生在越南，在臺(tái)灣上高中，并于1970年獲得美國俄亥俄州立大學(xué)電機(jī)工程博士。他在IBM不斷提高成像技術(shù)，一干就是22年。2000年，林本堅(jiān)回到臺(tái)灣，加入了臺(tái)積電。 出席本屆未來科學(xué)大會(huì)頒獎(jiǎng)禮的還有丁健、徐小平等捐贈(zèng)人代表，饒毅、王曉東、謝曉亮、丁洪等科學(xué)委員會(huì)成員。 2016年，未來科學(xué)大獎(jiǎng)?wù)皆O(shè)立，成為中國大陸第一個(gè)由科學(xué)家、企業(yè)家群體共同發(fā)起的民間科學(xué)獎(jiǎng)項(xiàng)。一年一屆，未來科學(xué)大獎(jiǎng)的頒獎(jiǎng)對(duì)象不限國籍，但需要是在大中華地區(qū)（包含中國大陸地區(qū)、香港、澳門及臺(tái)灣）完成研究的科學(xué)家，且研究要具備原創(chuàng)性、長期重要性和巨大的國際影響。 2016年，首屆未來科學(xué)大獎(jiǎng)的“生命科學(xué)獎(jiǎng)”和“物質(zhì)科學(xué)獎(jiǎng)”得主分別為香港中文大學(xué)教授盧煜明和清華大學(xué)教授薛其坤。 2017年，未來科學(xué)大獎(jiǎng)增設(shè)“數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)”。 2018年，未來科學(xué)大獎(jiǎng)新增6名科學(xué)委員會(huì)成員。 |
