從2007年到2012年，MEMS市場的年復(fù)合增長率將達(dá)到14%。為了滿足市場需求，MEMS企業(yè)和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產(chǎn)制造水平，擴(kuò)大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現(xiàn)在的5英寸和6英寸線 ...

1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...

1 引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu) ...

1 引言 　　風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個 ...

一、引言  MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成 ...

MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同 ...

在仿生推進(jìn)機(jī)理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進(jìn)機(jī)理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義；然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機(jī)拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán) ...

　　作為中國最早做傳感器的專家之一，上海傳感器協(xié)會秘書長顏重光表示如今國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距。　　顏重光指出，MEMS與機(jī)械類傳感器相比，精度相 ...

隨著蘋果iPhone和任天堂Wii游戲機(jī)的流行，加速度傳感器在消費(fèi)類電子設(shè)備中得到了廣泛的應(yīng)用。例如，筆記本中的跌落保護(hù)、MP4/手機(jī)中的屏幕自動翻轉(zhuǎn)、輕敲手機(jī)掛斷電話以及手機(jī)“翻轉(zhuǎn)靜音”等等 ...

如果你正在尋求挑戰(zhàn)，那么就試試將微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)IC 和傳統(tǒng)IC 以及其它MEMS IC互連吧。MEMS 技術(shù)涉及到許多不同功能之間的高層集成。 　　MEMS 芯片的集成通常是指電子和機(jī)械功能的集成。 ...

　　2006年夏假的一天，剛從美國回來的張海霞被學(xué)生問得啞口無言。當(dāng)時她正在講臺上激情四射地講著MEMS美好的應(yīng)用前景，會成為未來的支柱產(chǎn)業(yè)，甚至對工業(yè)基礎(chǔ)都會有一個很大的貢獻(xiàn)。突然一個學(xué) ...