許多MEMS器件，像加速度計、機械共振器件等，都需要在真空環境下才能實現設計功能。然而檢驗封裝腔體是否達到了所要求的真空程度一直一來都是個棘手的問題。密歇根大學Khalil Najafi教授研究小 ...

跌倒探測儀適用于自理能力和自我保護能力比較差的老年人和兒童，它通過測量佩戴該儀器的個體在運動過程中的三個正交方向上的加速度來感知其身體姿態的變化，并可按照需要進行報警和發布。 跌 ...

提出了一種新型的三明治結構MEMS微波功率傳感器結構，與傳統傳感器相比，新結構由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下，模擬了熱電堆的溫度分布，三明治結構熱電堆 ...

給出一種用于義齒壓力測量的微型電容式傳感器的研制工藝和封裝測試。文中根據電容式壓力傳感器的原理，采用MEMS工藝，研制出微型傳感器。在與義齒基托相同材料的作底基的樹脂上挖一個邊長為2 rn ...

流量傳感器是眾多醫療設備的關鍵器件，它被用來監視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號放大與溫度補償電路的測 ...

iPhone和任天堂Wii游戲機的流行，加速度傳感器在消費類電子設備中得到了廣泛的應用。例如，筆記本中的跌落保護、MP4/手機中的屏幕自動翻轉、輕敲手機掛斷電話以及手機“翻轉靜音”等等。這些應 ...

1 引 言 近幾年，基于電化學原理的安培酶免疫檢測發展迅速，在食品工業、環境監測與處理、生物技術及臨床診斷等領域都有著廣泛的應用。 利用抗原抗體之間的特異性親和作用以及酶的催 ...

意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術特性上實現了兩全其美：更小尺寸、更低價格 ...

盡管2009年全球經歷了空前的經濟危機，但是MEMS市場并沒有受到影響，市場總值幾乎與2008持平，出貨量比2008年同期增長大約10%，這些數據表明，MEMS在消費電子市場的滲透率正在不斷提高。據市調 ...

近幾十年以來，電氣傳感器一直作為測量物理與機械現象的標準設備發揮著它的作用。盡管它們在測試測量中無處不在，但作為電氣化的設備，他們有著與生俱來的缺陷，例如信號傳輸過程中的損耗，容易 ...

近年來射頻微電子系統(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低 ...

物體在運動中的傾角是描述物體運動狀態、特征的重要參數，在交通、航天、軍事領域中都有著重要的意義，對目標的定位、追蹤起到非常重要的作用。所以開發價格適中、精度高，測量范圍大的角度測量 ...