單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統(tǒng)
摘要：傳感器技術(shù)是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計(jì)算機(jī)結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制 ...
最近幾年利用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技術(shù)，在硅晶圓基板表面制作機(jī)電結(jié)構(gòu)的技術(shù)備受關(guān)注，主要原因移動(dòng)電話與WLAN（Wireless Local Wireless Network）等無線通信 ...
許多MEMS器件，像加速度計(jì)、機(jī)械共振器件等，都需要在真空環(huán)境下才能實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)功能。然而檢驗(yàn)封裝腔體是否達(dá)到了所要求的真空程度一直一來都是個(gè)棘手的問題。密歇根大學(xué)Khalil Najafi教授研究小 ...
跌倒探測儀適用于自理能力和自我保護(hù)能力比較差的老年人和兒童，它通過測量佩戴該儀器的個(gè)體在運(yùn)動(dòng)過程中的三個(gè)正交方向上的加速度來感知其身體姿態(tài)的變化，并可按照需要進(jìn)行報(bào)警和發(fā)布。
跌 ...
提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)傳感器相比，新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下，模擬了熱電堆的溫度分布，三明治結(jié)構(gòu)熱電堆 ...
給出一種用于義齒壓力測量的微型電容式傳感器的研制工藝和封裝測試。文中根據(jù)電容式壓力傳感器的原理，采用MEMS工藝，研制出微型傳感器。在與義齒基托相同材料的作底基的樹脂上挖一個(gè)邊長為2 rn ...
流量傳感器是眾多醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵器件，它被用來監(jiān)視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術(shù)主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號放大與溫度補(bǔ)償電路的測 ...
iPhone和任天堂Wii游戲機(jī)的流行，加速度傳感器在消費(fèi)類電子設(shè)備中得到了廣泛的應(yīng)用。例如，筆記本中的跌落保護(hù)、MP4/手機(jī)中的屏幕自動(dòng)翻轉(zhuǎn)、輕敲手機(jī)掛斷電話以及手機(jī)“翻轉(zhuǎn)靜音”等等。這些應(yīng) ...
1 引 言
近幾年，基于電化學(xué)原理的安培酶免疫檢測發(fā)展迅速，在食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測與處理、生物技術(shù)及臨床診斷等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。
利用抗原抗體之間的特異性親和作用以及酶的催 ...
意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價(jià)格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí)現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價(jià)格 ...
盡管2009年全球經(jīng)歷了空前的經(jīng)濟(jì)危機(jī)，但是MEMS市場并沒有受到影響，市場總值幾乎與2008持平，出貨量比2008年同期增長大約10%，這些數(shù)據(jù)表明，MEMS在消費(fèi)電子市場的滲透率正在不斷提高。據(jù)市調(diào) ...
近幾十年以來，電氣傳感器一直作為測量物理與機(jī)械現(xiàn)象的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備發(fā)揮著它的作用。盡管它們在測試測量中無處不在，但作為電氣化的設(shè)備，他們有著與生俱來的缺陷，例如信號傳輸過程中的損耗，容易 ...
