近年來射頻微電子系統(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低 ...

物體在運動中的傾角是描述物體運動狀態、特征的重要參數，在交通、航天、軍事領域中都有著重要的意義，對目標的定位、追蹤起到非常重要的作用。所以開發價格適中、精度高，測量范圍大的角度測量 ...

所有類型的傳感器在過去幾年中都有了很大發展，而且與之前的產品相比，更加精確也更穩定。有的時候，這些傳感器使用起來并不簡單。面向這些傳感器的調節電路設計師，經常發現此類電路的開發多少 ...

Benedetto Vigna，意法半導體 意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術特性上實 ...

近陣子由于iPhone 4走紅，許多媒體紛紛宣揚iPhone將引爆傳感器題材商機，在報導描述中也用上了熱門的技術名詞：微機電系統（MEMS），期望使題材能更熱。 文章用上MEMS傳感器的稱呼，使許多 ...

雖然MEMS(微電子機械系統)技術被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感器的用途，這些產品使用了基于運動感測技術的 ...

1 引言 相干布居俘獲CPT(Coherent Population Trapping)是原子與相干光相互作用所產生的一種量子干涉現象。利用高分辨CPT光譜研制出的被動型CPT原子頻標具有體積小、功耗低、啟動快等特點。 ...

高速發展的電子及其制造技術使微機電系統（Micro-Electro-Mechanical-SySTems ，MEMS）迅速普及。其實基于MEMS技術的加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀等已經有30余年的應用歷史，但由于技術和 ...

1 引言 隨著光通信技術的迅速發展，MEMS光開關由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅 ...

MEMS即微機電系統，是利用微米級立體結構實現感應和執行功能的一項關鍵技術。其中，微米級立體結構是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實現的微米大小的立體機械結構。 因為技術和經濟的原因 ...

硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優點，而且該種傳感器在強輻射作用下能正常工作，使 ...