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西班牙公司擬開發CMOS工藝單片式MEMS慣性傳感器單元

發布時間:2012-5-14 09:58    發布者:李寬
關鍵詞: MEMS , 慣性傳感
一家位于西班牙巴賽羅納的初創公司Baolab Microsystems SL宣布,正計劃采用該公司的一種新技術,來開發可重配置的慣性傳感器單元(IMU)。Baloab Microsystems SL是首創在CMOS晶圓金屬互連層中開發出微機電系統(MEMS)元件的公司。

Baolab已經開發出基于該公司特有技術的3D羅盤。這家公司同時表示,預計在對其技術進行修改后,還能進一步維入加速度計陀螺儀,進而開發出全新的IMU。然而,Baolab并未說明何時才能采用其后段CMOS工藝正式生產多軸加速度計或陀螺儀。

結合三軸加速度計、陀螺儀和磁力計,可提供絕對位置和方向數據。這類產品通常結合衛星數據,在移動設備應用中提供位置感知功能。

“我們已經開發出能夠修改我們所開發的3D NanoCompass產品架構的方式,以便用于開發陀螺儀、加速度計以及磁力計,Baolab CEO Dave Doyle說。“由于我們已經能在單一芯片中同時整合各種不同的傳感器和電子元件,同時提供控制功能與智能特性,因此,我們將比創造出一種業界渴望的產品──多傳感器的IMU,這種新元件將具備更靈活的特性,能夠依照各種應用需求來動態配置。”

一般來說,MEMS、模擬信號調節器,以及數字信號處理會需要三種不同的工藝。這些元件通常采用多芯片封裝,以便讓它們成為具備數字輸出的MEMS元件。而藉由在CMOS芯片的金屬層中整合MEMS架構,Baolab聲稱將能開發出單片式的多單元MEMS元件。

“我們的目標是開發出超低成本,具備智能特性的多傳感器NanoIMU 產品,未來我們將推出一系列的納米傳感器,”Doyle說。
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