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高壓放大器在位置控制系統(tǒng)懸浮實驗中的應用

發(fā)布時間:2024-11-27 11:24    發(fā)布者:aigtek01
關鍵詞: 高壓放大器
  實驗名稱:位置控制系統(tǒng)懸浮實驗
  測試目的:靜電懸浮位置控制系統(tǒng)是靜電懸浮材料加工技術的基礎,同時也是核心,我國尚未有已經完全掌握了該項核心技術的報道,本文在分析位置控制系統(tǒng)各組成部分的工作原理上,設計實現靜電懸浮位置控制系統(tǒng),并實現了對懸浮樣品的穩(wěn)定位置控制。
  測試設備:高壓放大器、懸浮電極、激光電源等。

  圖1:靜電懸浮位置控制系統(tǒng)
  實驗過程:
  豎直方向位置控制系統(tǒng)實驗裝置由650nm半導體激光光源、三維控制板、高壓放大器、懸浮電極等組成,圖2所示的上圖為PSD、信號放大電路、懸浮電極、激光光源和高壓放大器,下圖為控制板和控制板供電電源。

  圖2:豎直方向位置控制系統(tǒng)實驗裝置
  懸浮對象采用直徑約3mm的鍍石墨陶瓷小球,當系統(tǒng)加電后,鍍石墨陶瓷小球立即被懸浮起來并逐漸穩(wěn)定到上下極板間的中心位置,懸浮情況如圖3所示。

  圖3:懸浮情況圖
  經放大后觀察,可得到懸浮的精度在±0.05mm以內,如圖4所示為0.7s內的懸浮情況。

  圖4:懸浮精度測定圖
  圖5為示波器觀察懸浮起步時PSD輸出的Z方向位置信號和控制電壓信號,其中CH1為位置信號,CH2為控制電壓信號(實際值和觀察值之比為2000:1)。可見,懸浮起步時的控制電壓需大約7000V,而小球在兩極板中心位置的懸浮控制電壓只需約4000V。

  圖5:示波器觀察懸浮起步過程
  實驗結果:
  采用650nm光源的豎直方向位置控制系統(tǒng)的位置控制精度為±0.05mm,這已經達到本文靜電懸浮位置控制系統(tǒng)的設計要求(±0.25mm)。將來用性能更好的808nm激光器做位置測量,豎直方向的控制精度必然更高。另外,水平方向的位置控制不需要克服重力,中心位置是懸浮樣品在水平方向電場力的平衡點,水平方向的位置控制主要是為了防止外界的干擾,那么水平方向的位置控制能夠達到更高的精度。
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