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靜電對于微電子行業危害極大，靜電荷帶來了靜電放電的破壞(和相關的電磁波干擾)和靜電吸附所引至的微粒污染問題，對電子工業制程來說電子廠對靜電的防護是非常嚴格的。 
靜電的產生是因為每一種材料的電子能級不同，兩種不同材料在接觸時會發生電荷轉移。由于靜電的負面效應，使得保持高水準的產品質量和產品良率更加困難。隨著器件微型化和精細化進程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經降到微米級別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率。 微粒污染相對來說是環境問題，微粒掉下可能是靜電吸附，也可能是地心吸力,也可能是隨機漂到。要令靜電吸附成為主因，把微粒吸向和黏附在表面，微粒的大小和表面的靜電荷有關。下圖比較: 在距離, 地心吸力，隨機漂移擴散，和由靜電荷所形成的靜電場,以強度200 V/cm為例，對不同大小的微粒，所做成的沉降速度。
在控制靜電損害的同時，也要重視對于微粒的監測，保證生產環境的潔凈度。通過實時監控微粒的變化參數，如果微粒超標可以及時發現，采取針對性措施進行防控改善，以減少落在芯片和設備表面的微塵粒子，降低因為微粒本身和靜電微粒吸附（ESA）造成的產品損壞，提高良率。工采網的一款particlesplus粒子計數器模塊OPC粉塵模塊- 9301P-OEM的檢測范圍達30個顆粒物計數通道，粒徑尺寸覆 蓋03um到25um,流速為0.1CFM (2.83LPM) 。
該組件安裝在一個易于集成的板子上，包含顆粒物傳感器、顆粒物計數板、集成真空泵及帶預前后過濾的流形、帶備用電池的實時時鐘/日歷,數據記錄和存儲達65000個樣本記錄，通過3.3V UART通訊，工作電壓范圍為7~15VDC。Particles Plus9301P -OEM性能超過ISO 21501-4和JISB9921標準,確保符合板載脈沖高度分析儀。 |
