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靜電對于微電子行業(yè)危害極大，靜電荷帶來了靜電放電的破壞(和相關(guān)的電磁波干擾)和靜電吸附所引至的微粒污染問題，對電子工業(yè)制程來說電子廠對靜電的防護(hù)是非常嚴(yán)格的。 
靜電的產(chǎn)生是因?yàn)槊恳环N材料的電子能級不同，兩種不同材料在接觸時會發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。由于靜電的負(fù)面效應(yīng)，使得保持高水準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率更加困難。隨著器件微型化和精細(xì)化進(jìn)程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點(diǎn)缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率。 微粒污染相對來說是環(huán)境問題，微粒掉下可能是靜電吸附，也可能是地心吸力,也可能是隨機(jī)漂到。要令靜電吸附成為主因，把微粒吸向和黏附在表面，微粒的大小和表面的靜電荷有關(guān)。下圖比較: 在距離, 地心吸力，隨機(jī)漂移擴(kuò)散，和由靜電荷所形成的靜電場,以強(qiáng)度200 V/cm為例，對不同大小的微粒，所做成的沉降速度。
在控制靜電損害的同時，也要重視對于微粒的監(jiān)測，保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。通過實(shí)時監(jiān)控微粒的變化參數(shù)，如果微粒超標(biāo)可以及時發(fā)現(xiàn)，采取針對性措施進(jìn)行防控改善，以減少落在芯片和設(shè)備表面的微塵粒子，降低因?yàn)槲⒘１旧砗挽o電微粒吸附（ESA）造成的產(chǎn)品損壞，提高良率。工采網(wǎng)的一款particlesplus粒子計數(shù)器模塊OPC粉塵模塊- 9301P-OEM的檢測范圍達(dá)30個顆粒物計數(shù)通道，粒徑尺寸覆 蓋03um到25um,流速為0.1CFM (2.83LPM) 。
該組件安裝在一個易于集成的板子上，包含顆粒物傳感器、顆粒物計數(shù)板、集成真空泵及帶預(yù)前后過濾的流形、帶備用電池的實(shí)時時鐘/日歷,數(shù)據(jù)記錄和存儲達(dá)65000個樣本記錄，通過3.3V UART通訊，工作電壓范圍為7~15VDC。Particles Plus9301P -OEM性能超過ISO 21501-4和JISB9921標(biāo)準(zhǔn),確保符合板載脈沖高度分析儀。 |
