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隨著信息時代的推進(jìn)，半導(dǎo)體行業(yè)正在迅猛發(fā)展，為社會帶來了顯著的經(jīng)濟效益和就業(yè)機會。然而，這一行業(yè)的快速發(fā)展也伴隨著對大氣的污染問題。由于半導(dǎo)體行業(yè)對操作室的清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，這使得半導(dǎo)體行業(yè)廢氣具有排放量大、排放濃度小的特點。 這些廢氣主要包括有機廢氣和酸堿廢氣兩類。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿廢氣則包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的來源主要是在芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產(chǎn)生的。 這些廢氣不僅對環(huán)境造成污染，而且對人們的健康也構(gòu)成威脅。在半導(dǎo)體制造過程中，元器件組裝焊接、電路板等器件清洗等表面處理過程中使用的化學(xué)藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物，會揮發(fā)成為污染氣體，如果這些氣體超標(biāo)排放，可能會導(dǎo)致人群慢性或急性中毒。 為應(yīng)對這一問題，我們需要對廢氣進(jìn)行實時精準(zhǔn)的檢測。一種解決方案是采用集成廢氣檢測系統(tǒng)，它可以實時采集和檢測廢氣的濃度等參數(shù)，一旦發(fā)現(xiàn)超標(biāo)排放，可以快速預(yù)警。此外，結(jié)合網(wǎng)格化管理，可以實現(xiàn)企業(yè)廢氣檢測與監(jiān)管的高效聯(lián)動。這種系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業(yè)廢氣處理等領(lǐng)域。其監(jiān)測項目主要包括非甲烷總烴監(jiān)測、砷烷監(jiān)測、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監(jiān)測、氨氣監(jiān)測等。 在檢測原理方面，主要有PID光離子檢測方法和電化學(xué)檢測方法兩種。PID光離子氣體傳感器采用光離子電離氣體原理進(jìn)行氣體檢測，適用于混合氣體中揮發(fā)性有機物總含量的測定。而電化學(xué)傳感器則是通過與被測氣體發(fā)生反應(yīng)并產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電信號來進(jìn)行工作。 在設(shè)備選型方面，對于工藝排口的有機廢氣排口(包括VOC治理排口)，推薦使用PID在線監(jiān)測設(shè)備；對于無機廢氣排口，建議使用煙氣在線監(jiān)測設(shè)備；而對于非工藝排口，如呼吸閥、實驗室排放口、儲罐呼吸孔等，則可選用電化學(xué)傳感器監(jiān)測設(shè)備。 工采網(wǎng)代理的英國Alphasense光離子傳感器PID和電化學(xué)氣體傳感器是針對半導(dǎo)體制造業(yè)有毒廢氣監(jiān)測應(yīng)用的專業(yè)級傳感器產(chǎn)品，傳感器具有靈敏度高，選擇性好，穩(wěn)定性好，濃度輸出線性好等優(yōu)點，可長時間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān)測，可大大降低半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測成本，實現(xiàn)大范圍安裝應(yīng)用，為半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測提供了切實可行的安全生產(chǎn)監(jiān)測解決方案。 Alphasense光離子傳感器PID是針對揮發(fā)性有機化合物的檢測和測量而設(shè)計的一款小型氣體傳感器，它適用于制造業(yè)、加工業(yè)這類典型的揮發(fā)性有機化合物高危場所以及環(huán)保監(jiān)測。 傳感器采用PID檢測技術(shù)對氣體環(huán)境中的VOCs濃度進(jìn)行檢測，檢測結(jié)果更準(zhǔn)確。傳感器量程選擇多，高靈敏度，使用壽命更長，且體積小巧，便于與各類氣體測量模組與擴展板集成，在氣體檢測儀制作設(shè)計方面有較大的使用空間。 在執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)方面，應(yīng)遵循一系列國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了爆炸性氣體環(huán)境電氣設(shè)備的要求、危險場所電氣安裝規(guī)范、有毒氣體檢測報警設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)、作業(yè)場所環(huán)境氣體檢測報警儀通用技術(shù)要求等多個方面。此外，還應(yīng)遵循大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)和固定污染源排放煙氣連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)技術(shù)要求及檢測方法等規(guī)定。 總的來說，半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理是一個復(fù)雜而重要的議題。通過采用先進(jìn)的檢測技術(shù)和設(shè)備，以及嚴(yán)格遵守相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定，我們可以有效減少廢氣對環(huán)境和健康的負(fù)面影響，推動半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。 |
