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作為一種真空獲得設備,分子真空泵(以下簡稱分子泵)因其工作穩定可靠,在分子流態下具有很好的抽氣效率,已經成為清潔高真空、超高真空應用領域的主流設備,在科學儀器、工業生產中得到廣泛應用。 圖表:分子泵在下游中的主要應用[1] 在進入21世紀之前,分子泵主要存在于科研與國防軍工領域。近十年間,隨著鍍膜、節能燈、顯示屏等新興產業的興起,分子泵逐漸在民用領域嶄露頭角并取得了快速發展2。尤其是半導體產業國產化進程的不斷推進和新能源鋰電池、光伏設備需求增長,使得國內分子泵行業的市場規模一直處于上升趨勢。相關機構預測到2026年,中國分子泵行業市場規模將達到31.0億元。 近幾年,分子泵向智能、靈活、高效的方向發展,在傳統分子泵基礎上,可實現無接觸支撐、高效率、高壽命的磁懸浮分子泵等產品獲得廣泛應用。產品核心技術大力發展的同時,與其配套的產品服務也向著更加專業、經濟、高效的人性化方向邁進,這也是市場競爭發展的趨勢之一。 分子泵的工作原理 分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同。分子泵是基于動量傳遞原理,在變頻電源驅動電機的帶動下高速旋轉,分子流區域內氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。 分子泵應用于高真空和超高真空度范圍(約10-1~10-8Pa),無法在大氣壓強下直接使用,其正常工作需要一定的啟動壓強(分子泵啟動壓強一般為0.1~100Pa),通常使用時需要連接低真空泵種作為前級預抽真空泵。分子泵機組是以分子泵為主泵,以旋片泵、渦旋泵為前級泵串聯而成的組合真空設備,運行后能迅速使密閉空間獲得高真空。 分子泵按結構和工作原理可分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵三種。 分子泵分類 立式渦輪分子泵的結構組成 分子泵維護保養的專業性 雖然分子泵已經走進工業領域的各個環節,但在應用端許多人對它卻并不熟悉。不同于傳統的油擴散泵,分子泵是一種高精密機械設備。例如,分子泵抽氣單元部分,其中最小間隙小于0.5mm,最大也不超過3mm。而且分子泵的主軸精度都在微米量級,微量的形變就會導致設備發生故障[2]。 普發渦輪分子泵中的復合軸承懸浮設計[3] 另外,分子泵對于開機檢查、存放的溫度與相對濕度及拆卸步驟都有明確要求。其復雜的理論與結構決定了分子泵維護、維修與保養的難度。只有了解并掌握專業的知識理論和實操經驗,才能使分子泵穩定、持久地工作。 分子泵的維修流程 綜上,高質量的分子泵,背后需要專業的維修保養團隊給予技術支持,以獲得更長的設備使用率和更低的設備故障率。在實際應用中,此項工作一般是由分子泵設備制造商來完成的。所以,分子泵的售后服務對于客戶來說,是產品本身不可或缺的一部分。 普發真空中國服務理念 普發真空作為全球領先的真空設備和服務供應商,在提升技術核心競爭力,保證分子泵產品質量的同時,也為客戶提供了一流的服務體系,確保分子泵高效且長久運行。為此,普發真空推出中國服務理念,致力于提供性能可靠的產品和優質的服務以滿足國內市場需求。 針對真空設備的維護、保養及維修,普發真空中國服務理念有開機檢測、預防性保養服務及設備故障報修服務三大專業措施。 點擊視頻鏈接,了解普發真空中國服務理念: https://www.zhihu.com/zvideo/1678007906174496768 ·在設備使用前,普發真空提供免費的開機檢測服務。專業的安裝、開機設定、健康檢測及日常維護保養培訓,確保分子泵及相關設備正常投入使用。 ·在設備使用中,普發真空提供預防性保養服務。專業人員到場對設備進行保養,現場更換工作液、密封件、易損件及現場點檢。如需返廠保養,普發真空會對設備進行全面的檢查和檢測,徹底更換工作液、全面更換密封件和易損件,并提供延保6個月的支持。 ·如設備出現故障,普發真空提供設備故障報修服務。服務前普發真空將與客戶進行溝通,預判故障原因和點位,讓現場服務更高效。支持現場更換服務,比如渦輪分子泵可現場更換軸承。如果需要返廠維修,普發真空擁有標準交換服務,即可提供一臺同型號運行良好的設備,以確保生產的有序進行。 普發真空保證以上所有服務都采用原廠的配件和工具并出具檢測報告,服務執行標準通過全球認證。標準交換服務提供的良品均經過認證,并提供等同質保。 專業設備+完善服務,不僅僅是客戶保障生產安全和生產效率的關鍵,也是助力真空行業健康穩定發展的重要舉措。從原廠備件到定制服務,普發真空專業的銷售工程師和維修團隊一直踐行反應快速且經濟實惠的端到端服務,成為時刻陪伴客戶的真空技術專業管家。 作者:iVacuum真空聚焦 參考文獻 [1] 圖表來源于前瞻產業研究院 [2]《分子真空泵的理論與實踐》 第九章-分子泵的維護保養和維修,作者:巴德純,王曉冬等 [3] 圖片來源于普發真空官網 |
a)渦輪分子泵。(b)復合分子泵