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彭曄 (apeng@semi.org) 突然有一種沖動(dòng)，想寫一寫中國(guó)本土半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的一群人。雖然我從來(lái)沒(méi)有以采訪的名義向他們提出記者的“套路”問(wèn)題，雖然他們?cè)谑澜绨雽?dǎo)體設(shè)備舞臺(tái)上的聲音還微乎其微，雖然我能看到聽(tīng)到的只是他們?nèi)松幸粋�(gè)片段，但他們的熱情投入與不斷進(jìn)取的精神讓我感動(dòng)。他們是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的脊梁。 素描 北方微電子的總裁耿錦啟是個(gè)實(shí)在人。印象最深的那句話就是“騎車5分鐘到客戶”。本土公司的優(yōu)勢(shì)正在于貼近客戶的服務(wù)，北方的客戶服務(wù)中心都設(shè)在了自行車 5分鐘到達(dá)客戶的距離之內(nèi)，“公司為每個(gè)辦事處都配備了自行車，保證客戶隨叫隨到。”而北方微電子保定辦公室就設(shè)在了客戶的公司內(nèi)部，北方人與天威人表面看是客戶關(guān)系，但更像是同事關(guān)系，他們?cè)跒橥粋�(gè)目標(biāo)而共同努力，即實(shí)現(xiàn)光伏模組效率的提高與成本的降低。 在公司經(jīng)營(yíng)與前沿技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域，耿錦啟的理念卻已與國(guó)際接軌，進(jìn)入了“汽車時(shí)代”。當(dāng)北方微電子完成十五國(guó)家重大專項(xiàng)的刻蝕設(shè)備研發(fā)，并成功將3臺(tái) 200mm機(jī)臺(tái)銷售給中芯、華虹和宏力后，耿啟錦說(shuō)北方開(kāi)始了“二次創(chuàng)業(yè)”。除了引進(jìn)海外人才、繼續(xù)300mm的前沿技術(shù)設(shè)備研發(fā)外，北方還成功開(kāi)發(fā)了光伏PECVD設(shè)備，并且在北京設(shè)立了光伏制造整條中試線，與國(guó)際理念接軌進(jìn)行研發(fā)，即以工藝開(kāi)發(fā)為主，硬件調(diào)試為輔。“中國(guó)人講求謙虛，有實(shí)力就說(shuō)實(shí)力，決不吹噓，”耿錦啟說(shuō)。相信北方的PECVD設(shè)備也將具備這一實(shí)力風(fēng)格。 七星電子集成電路工藝設(shè)備研發(fā)中心總經(jīng)理盛金龍身上洋溢著北方人特有的熱情與直爽。說(shuō)到300mm質(zhì)量流量計(jì)Intel訂單的時(shí)候，盛金龍的第一句話就是，“都是我們的錯(cuò)，是我們的研發(fā)有點(diǎn)兒慢了。”坦誠(chéng)的態(tài)度給人以信任。相信一年1萬(wàn)臺(tái)MFC的訂單，及成為國(guó)內(nèi)MFC老大的業(yè)績(jī)與這種坦誠(chéng)的態(tài)度不無(wú)關(guān)聯(lián)。 作為中國(guó)歷史最為悠久的半導(dǎo)體設(shè)備公司，七星的擴(kuò)散退火與清洗設(shè)備早在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)享有很高的美譽(yù)度。在國(guó)家02專項(xiàng)的支持下，300mm最新的擴(kuò)散退火系統(tǒng)即將走出七星，進(jìn)入fab接受進(jìn)一步的考驗(yàn)。當(dāng)問(wèn)起系統(tǒng)的零部件本土化情況時(shí)，盛金龍自豪地說(shuō)，只有一個(gè)關(guān)鍵部件是純進(jìn)口的。說(shuō)到自家設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)，盛金龍如數(shù)家珍，從設(shè)備的獨(dú)特腔體設(shè)計(jì)，到如何提高工藝穩(wěn)定性等等。不過(guò)最后的一句總結(jié)，“等客戶有了好的結(jié)果再宣傳”，讓我再次感受到了盛金龍的直爽與謙虛。 中科院微電子所的葉甜春所長(zhǎng)作為02專項(xiàng)的組長(zhǎng)，“大權(quán)在握”，卻絲毫沒(méi)有架子。因?yàn)楣畹⒄`了北京“32nm技術(shù)研討會(huì)”的演講，葉所長(zhǎng)道歉的話說(shuō)了三遍。隨著國(guó)家32nm與22nm設(shè)備與工藝研發(fā)項(xiàng)目的開(kāi)展，葉甜春胖了，因?yàn)閴毫Γ驗(yàn)槭虑樘啵爸挥谐燥柫瞬庞芯Α！比~甜春笑談。 國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備與工藝的重視，對(duì)中國(guó)產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是莫大的發(fā)展機(jī)會(huì)。面對(duì)千億元的研發(fā)資金，如何用好，如何快速地促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這對(duì)02 專家組來(lái)說(shuō)意味著責(zé)任與挑戰(zhàn)。與科技部官員溝通、與企業(yè)溝通是必須的步驟，了解國(guó)際最新技術(shù)趨勢(shì)與熱點(diǎn)也是不可或缺的，只有通過(guò)調(diào)查研究，才有發(fā)言權(quán)。葉甜春說(shuō)，我們的目標(biāo)就是在2020年，中國(guó)能夠成為引領(lǐng)世界半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的一份力量，在世界半導(dǎo)體行業(yè)有自己的聲音。 機(jī)遇與發(fā)展 2006年２月９日，國(guó)務(wù)院發(fā)布了《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》確定了未來(lái)15年力爭(zhēng)取得突破的16個(gè)重大科技專項(xiàng)，涉及信息、生物等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，能源資源環(huán)境和人民健康等重大緊迫問(wèn)題以及軍民兩用技術(shù)和國(guó)防技術(shù)。其中01、02專項(xiàng)分別為核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件，以及極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝。作為信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，IC的設(shè)計(jì)與制造引起了國(guó)家高度重視，希望籍此機(jī)會(huì)帶動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)進(jìn)步，政府對(duì)半導(dǎo)體的巨大投入無(wú)疑是產(chǎn)業(yè)發(fā)展難得的一次機(jī)遇。 七星承攬著02專項(xiàng)擴(kuò)散退火系統(tǒng)的研發(fā)項(xiàng)目，盛金龍說(shuō)，此次國(guó)家的投入與之前的十五計(jì)劃相比增加了非常多，國(guó)家現(xiàn)在不是怕花錢，而是怕“出不來(lái)東西”。 在先進(jìn)工藝研發(fā)領(lǐng)域的數(shù)十億投入也將大幅提升芯片廠的工藝技術(shù)水平和IP的擁有量，促進(jìn)自主創(chuàng)新。據(jù)中芯國(guó)際技術(shù)處長(zhǎng)吳漢明介紹，目前中芯每年能夠自主開(kāi)發(fā)數(shù)百專利，45nm的激光退火、32nm的雙曝光、HKMG等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域都是重點(diǎn)研發(fā)方向。與此同時(shí)，中芯還能夠?yàn)閲?guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備提供驗(yàn)證平臺(tái)，為01專項(xiàng)的IC設(shè)計(jì)公司提供工藝支持及免費(fèi)的MPW服務(wù)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同進(jìn)步。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)日益廣泛地應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏、TFT、LED等領(lǐng)域，本土設(shè)備公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)積累已經(jīng)轉(zhuǎn)移到大半導(dǎo)體領(lǐng)域。中電48所、七星、北方微電子等公司與Applied Materials等國(guó)際公司走的是同樣的道路。 隨著全球?qū)G色能源的需求提高，以及對(duì)光伏成本降低的不懈追求，中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)開(kāi)始了欣欣向榮的發(fā)展，中國(guó)的設(shè)備制造公司由于成本優(yōu)勢(shì)也擁有了更多的機(jī)會(huì)。“最近幾年是太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)發(fā)展的黃金期，但隨著越來(lái)越多傳統(tǒng)半導(dǎo)體國(guó)際公司進(jìn)入這一領(lǐng)域，留給我們發(fā)展的時(shí)間也許并不太多。”七星副總經(jīng)理張國(guó)銘說(shuō)。 七星也是國(guó)內(nèi)首家進(jìn)入TFT五代線的本土設(shè)備公司，在光伏與TFT設(shè)備領(lǐng)域的成功正是保證七星每年業(yè)績(jī)兩位數(shù)增長(zhǎng)的法寶。而正是有了半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)，才讓七星敏銳地把握住了每一次市場(chǎng)機(jī)遇。 挑戰(zhàn)與困惑 “從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)到成熟、再到市場(chǎng)認(rèn)可通常需要6－7年，”耿錦啟說(shuō)。目前半導(dǎo)體市場(chǎng)已基本成熟，2009年市場(chǎng)還在萎縮，國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)需求也不明朗，因此單純依靠半導(dǎo)體設(shè)備，企業(yè)的生存與發(fā)展自然會(huì)受到制約。 市場(chǎng)的成熟也讓任何一個(gè)細(xì)分的半導(dǎo)體裝備很難超過(guò)2家供應(yīng)商，這對(duì)不占先機(jī)的中國(guó)公司是一大挑戰(zhàn)。“中國(guó)制造”曾改變了服裝、電子等產(chǎn)品的世界秩序，但在最為精密的半導(dǎo)體設(shè)備與工藝領(lǐng)域，“中國(guó)制造”能否續(xù)寫這一神話？沒(méi)有努力不能下結(jié)論，但基礎(chǔ)工業(yè)也絕非是一朝一夕能夠快速提高的。 貌似不起眼的零部件國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題是目前設(shè)備產(chǎn)業(yè)面臨的最大困惑之一。半導(dǎo)體設(shè)備的4大關(guān)鍵零部件，即泵、質(zhì)量流量計(jì)、閥門和管道，看似簡(jiǎn)單的部件，但目前本土生產(chǎn)的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的核心幾乎都采用進(jìn)口的零部件。在產(chǎn)量無(wú)法與國(guó)際先進(jìn)水平相提并論的今天，我們零部件的價(jià)格實(shí)際比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手還要高！但設(shè)備銷售的價(jià)格卻必須比進(jìn)口設(shè)備低30％左右，七星微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理唐亞非對(duì)此不無(wú)感慨。如何抓好基礎(chǔ)的基礎(chǔ)，即零部件產(chǎn)業(yè)，是多年來(lái)本土半導(dǎo)體設(shè)備公司發(fā)展的瓶頸之一。 本土設(shè)備對(duì)“技術(shù)含量略低”的光伏設(shè)備全球市場(chǎng)的沖擊有目共睹。這也迫使國(guó)際設(shè)備公司不得不采取降價(jià)措施，因此中國(guó)光伏制造的全球價(jià)格優(yōu)勢(shì)也不能少了本土設(shè)備公司這一份貢獻(xiàn)。但我們同時(shí)還發(fā)現(xiàn)，不論是核心的薄膜光伏鍍膜設(shè)備，還是TFT核心鍍膜設(shè)備、LED生長(zhǎng)的核心MOCVD設(shè)備，這些最為關(guān)鍵的領(lǐng)域似乎都還缺少中國(guó)公司的身影。SEMI顧問(wèn)莫大康的這一評(píng)述讓我們?cè)僖淮螌徱曋袊?guó)設(shè)備產(chǎn)業(yè)的技術(shù)基礎(chǔ)，沒(méi)有堅(jiān)實(shí)的鋼筋，將很難蓋起摩天大樓。 思考是行動(dòng)的基礎(chǔ)。正是出于對(duì)設(shè)備行業(yè)的一腔熱情，讓他們有了這份思考。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來(lái)，將建立在今天我們共同努力的磚石上。 |
