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近日，由沈陽市政府與渾南新區(qū)共同組織申報(bào)的“沈陽集成電路(IC)裝備產(chǎn)業(yè)化基地”項(xiàng)目，被科技部正式批準(zhǔn)為“沈陽國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地”。這是目前科技部認(rèn)定的國內(nèi)唯一一個(gè)國家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。 沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始建于2002年，累計(jì)投入資金4億多元。經(jīng)過多年的建設(shè)，集成電路裝備生產(chǎn)企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現(xiàn)在的37家，其中，骨干企業(yè)達(dá)到11家，申報(bào)專利近100項(xiàng)。基地主導(dǎo)產(chǎn)品已在國內(nèi)半導(dǎo)體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。 目前，沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術(shù)平臺，擁有目前國內(nèi)唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業(yè)已達(dá)30余家。 |
