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近日，由沈陽市政府與渾南新區共同組織申報的“沈陽集成電路(IC)裝備產業化基地”項目，被科技部正式批準為“沈陽國家集成電路裝備高新技術產業化基地”。這是目前科技部認定的國內唯一一個國家集成電路裝備產業化基地。 沈陽集成電路裝備產業始建于2002年，累計投入資金4億多元。經過多年的建設，集成電路裝備生產企業已從最初的兩家發展到現在的37家，其中，骨干企業達到11家，申報專利近100項�；刂鲗Мa品已在國內半導體加工、醫療器械、太陽能電池等行業得到廣泛應用。 目前，沈陽集成電路裝備產業基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術平臺，擁有目前國內唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業已達30余家。 |
