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超聲波液位傳感器在涂膠顯影機進液系統中的應用

發布時間:2023-5-11 11:43    發布者:知夏微涼
半導體的生產過程中,涂膠顯影機應用于半導體制造的光刻工藝中,是感光劑(photoresist)的涂布(coat)和顯影(develop)的設備涂膠顯影機組有多個系統模塊組成,其中化學品柜進液系統是涂膠顯影的重要組成部分,目前的系統相關主要零部件主要由,罐體、真空發生器、電磁傳感器、電磁閥、稀釋劑、管路等在零部件組成。在該設備的涂膠(coat)單元中,硅片上面的感光劑首先被涂布,后被送到曝光設備里,通過光刻機將MASK上面圖形投影到硅片上。硅片回到涂膠顯影機的顯影單元中,通過對硅片表面感光膠噴涂顯影液,使被感光部分的感光劑融化,這樣wafer上就出現了凹凸的圖形。經過各種工序重復,最終就形成了細微而復雜的集成電路而在現有的設備裝配完成后,只能通過涂膠顯影設備機組進行聯合調試、來確定進液系統是否可以正常工作,無法提前確定進液系統的質量能否達到技術要求。因此會大大增加設備聯合調試的工作量降低了生產速率。
為確定進液系統工采網推薦使用超聲波液位傳感器監測。超聲波液位傳感器屬于閾值傳感器,通過檢測探頭的感應間隙中是否存在液體來產生信號。超聲波信號在間隙中傳輸,而液位檢測依賴于信號衰減差異,當液體填滿間隙時衰減極低。檢測器收到有效信號時,傳感器將產生輸出信號,指示間隙中存在液體。該類型傳感器適合泵保護、油膜檢測或切斷系統等應用。工采網提供的美國SENIX ToughSonic-50 超聲波液位傳感器 - TSPC-21S/21SRM/25P的檢測距離為50英尺(15.2米)。像所有韌性傳感器一樣,它們的耐用性和易用性在惡劣的工業環境中使用。ToughSonic 50s完全可以浸入,耐腐蝕,抗沖擊和強韌。它們也可以用SenixVIEW軟件完全配置。
ToughSonic 50s可用于三個不同的外殼,每個外殼都有RS-232RS-485串行接口。這些9線傳感器允許多達六個同時的串行,模擬和/或開關輸出。這些主力傳感器在世界各地在遠程液位應用和惡劣的工廠環境中使用。
ToughSonic-50 超聲波液位傳感器選項:
ToughSonic 50有三種不同的外殼。任何的外殼都可以所有傳感器的功能。
標準:型號(TSPC-21S)采用2.1英寸(53.34)光滑316不銹鋼外殼,便于加緊
背面安裝:后安裝型(TSPC-21SRM)增加了1.5英寸NPT螺紋到2.1英寸平滑標準外殼中的不銹鋼端帽
PVC型號:也可以使用ToughSonic 50TSPC-25P)的2.5PVC型號。該型號具有相同的固態電子產品,堅固的壓電換能器,永久連接的9芯電纜和其他ToughSonic 50s的全環氧樹脂灌封,但封裝在2.5英寸PVC外殼中,兩端使用2.5英寸NPT螺紋,用于罐級應用。
ToughSonic-50 超聲波液位傳感器規格:

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