|
來(lái)源：大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 12月17日，恰逢沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立二十周年，公司正式發(fā)布前道浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)新品FT（III）300。公司董事長(zhǎng)兼總裁宗潤(rùn)福表示：“這是公司發(fā)展的又一重要里程碑，成立二十年來(lái)，公司始終聚焦于涂膠顯影技術(shù)領(lǐng)域，可謂二十年磨一劍。本次前道浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)的成功推出，將進(jìn)一步豐富公司的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)公司在前道晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)的全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級(jí)迭代，鞏固和提升公司在行業(yè)內(nèi)的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。未來(lái)芯源微將繼續(xù)致力于產(chǎn)品創(chuàng)新和技術(shù)提升，成為受社會(huì)尊重的世界級(jí)企業(yè)。 
公司前道設(shè)計(jì)部總監(jiān)、浸沒(méi)式機(jī)臺(tái)主設(shè)計(jì)師程虎詳細(xì)介紹了該款機(jī)臺(tái)的技術(shù)性能及客戶端驗(yàn)證情況，“作為芯源微自主開(kāi)發(fā)的第三代機(jī)型，浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)具有高產(chǎn)能、高工藝能力、高潔凈度、高擴(kuò)展性和易維護(hù)性等優(yōu)勢(shì)。目前，該款機(jī)型已通過(guò)客戶端驗(yàn)證，達(dá)到客戶量產(chǎn)要求，成功打破國(guó)外壟斷，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白”。 “該款機(jī)型采用獨(dú)創(chuàng)的對(duì)稱分布高產(chǎn)能架構(gòu)，滿配36 Spin處理單元，搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機(jī)械手，可大幅提升整機(jī)的機(jī)械傳送產(chǎn)能和傳送精度，能夠匹配全球主流光刻機(jī)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)，可在復(fù)雜工藝下實(shí)現(xiàn)300片以上產(chǎn)能。此外，機(jī)臺(tái)還搭載了公司開(kāi)發(fā)的精確溫度調(diào)制（PTM）技術(shù)，使熱盤(pán)烘烤溫度均勻性達(dá)到業(yè)界領(lǐng)先水平；全新的Spin單元實(shí)時(shí)控制技術(shù)，可有效提升機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制及流體控制精度、響應(yīng)性及穩(wěn)定性，持續(xù)為客戶降低成本；通過(guò)仿真優(yōu)化設(shè)計(jì)整機(jī)流場(chǎng)，確保內(nèi)部微環(huán)境均勻穩(wěn)定，提升整機(jī)的潔凈度等級(jí)；全系列輔助功能單元，包含AOI、WEE系統(tǒng)等，可在線式檢測(cè)晶圓工藝缺陷，減少不良品流出。” “該款機(jī)型通過(guò)選配可全面覆蓋KrF、ArF dry、ArF浸沒(méi)式等多種光刻技術(shù)，也適用包括SOC、SOH、SOD等在內(nèi)的其他旋涂類應(yīng)用。為應(yīng)對(duì)未來(lái)光刻機(jī)產(chǎn)能的不斷提升，該機(jī)型還可擴(kuò)充至更多處理單元，由目前的36 Spin擴(kuò)展為48 Spin，產(chǎn)能提升到每小時(shí)360片，同時(shí)實(shí)現(xiàn)在低占地面積下兼顧機(jī)臺(tái)易維護(hù)性，有效提升機(jī)臺(tái)維護(hù)效率。” |
