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2月6日上午，上海集成電路材料研究院（“集材院”）在上�；瘜W工業區投資建設的集成電路材料合成實驗室正式啟用，這既是上海電子化學品專區加快打造自主創新平臺的重要組成部分，也是上海國際化工新材料創新中心重點引入的研發試驗機構之一，成為上海化工區加速創新驅動、促進產業鏈與創新鏈融合發展的又一重要里程碑。 2020年以來，上海化工區主動對接國家戰略和上海集成電路等先導產業發展需求，全力推進上海電子化學品專區建設，并以培育自主創新平臺為紐帶，助力促進科創建設協同發展，取得顯著成效。 
管委會黨組書記、主任馬靜，管委會副主任侯金花，發展公司總經理金健，中科院微系統所黨委書記俞躍輝，中科院微系統所副所長、集材院董事長兼總經理俞文杰等出席揭幕儀式，并參觀現場和座談交流。 面向集成電路材料企業在性能測試與研發驗證等方面的共性訴求，集材院于2022年1月在電子化學品專區注冊成立全資子公司上海集材微電子材料技術有限公司，落戶上海國際化工新材料創新中心。注冊資本3000萬元，一期項目建設總投入1.5億元，總建筑面積近2100㎡。該平臺建成合成實驗室、放大實驗室、純化及罐裝實驗室、分析實驗室等專業實驗室，可開發化學合成技術、合成結構精準可控的集成電路材料，探索放大工藝、制備公斤級集成電路材料，并開發原料純化技術、制備ppb、ppt級金雜含量的集成電路材料。分析實驗室可提供全面、系統性的集成電路材料測試表征分析，并將逐步建立起集成電路材料分析測試及操作規范的行業標準。同時，分析實驗室服務能力向專區內企業共享開放。
（集材院實驗室部分公共服務能力） |
