|
來源：集微網 據韓聯社報道，SK海力士今（10）日表示，其已開始通過在半導體工藝中引入人工智能 (AI) 解決方案來提高生產效率和良率。 SK海力士投資的AI公司Gauss Labs在去年11月推出一種名為“PanoPtesVM（虛擬儀器）”的虛擬計量方案，并在去年12月在引入半導體制造并量產。 據悉，Panoptes VM方案涉及芯片上覆蓋薄膜的關鍵工藝，即將計算方案引入薄膜沉積工藝，利用傳感器數據預測制造過程的結果。據悉，薄膜厚度和折射率與半導體質量直接相關，但在薄膜中測量需要大量的時間和資源，難以測量。報道指出，半導體工藝引入的Panoptes VM，可使良率平均提高了21.5%。 SK海力士制造和技術副總裁金永式表示：“我們與高斯實驗室的合作致力于實現更智能化的智能工廠，我們將在整個半導體開發和生產中融入人工智能技術，確保技術優勢。” |
