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來(lái)源：集微網(wǎng) 據(jù)韓聯(lián)社報(bào)道，SK海力士今（10）日表示，其已開(kāi)始通過(guò)在半導(dǎo)體工藝中引入人工智能 (AI) 解決方案來(lái)提高生產(chǎn)效率和良率。 SK海力士投資的AI公司Gauss Labs在去年11月推出一種名為“PanoPtesVM（虛擬儀器）”的虛擬計(jì)量方案，并在去年12月在引入半導(dǎo)體制造并量產(chǎn)。 據(jù)悉，Panoptes VM方案涉及芯片上覆蓋薄膜的關(guān)鍵工藝，即將計(jì)算方案引入薄膜沉積工藝，利用傳感器數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)制造過(guò)程的結(jié)果。據(jù)悉，薄膜厚度和折射率與半導(dǎo)體質(zhì)量直接相關(guān)，但在薄膜中測(cè)量需要大量的時(shí)間和資源，難以測(cè)量。報(bào)道指出，半導(dǎo)體工藝引入的Panoptes VM，可使良率平均提高了21.5%。 SK海力士制造和技術(shù)副總裁金永式表示：“我們與高斯實(shí)驗(yàn)室的合作致力于實(shí)現(xiàn)更智能化的智能工廠，我們將在整個(gè)半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中融入人工智能技術(shù)，確保技術(shù)優(yōu)勢(shì)。” |
