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真空箱式氦氣檢漏系統由于檢漏率高、單次檢測次數多、操作簡單、運行成本低，已成為大型工件和電子設備生產線批量檢漏的主要方式。根據檢漏方式的不同，真空箱式氦檢漏系統可分為氦壓真空箱式檢漏和充氦檢漏回收兩種方式。 充氦檢漏原理：泄漏的氦氣到達氦檢測器中的電離器，被燈絲發射的電子束電離。在離子被特定的電壓加速后，它們飛到氦檢測器的磁場中進行偏轉。根據質量差異，得到不同的偏轉半徑，篩選出氦離子到達分析管，產生微電流。經過高性能、低噪聲放大后，得到可讀的電流信號，通過標定建立泄漏率關系，確定泄漏率。 氦氣檢測是一種質譜檢測方法，將氦氣作為示蹤氣體注入到待檢測的工件中，通過質量分析管將工件泄漏的氦氣轉換成相應的微電流信號，從而確定氦氣的泄漏量，進而確定工件的泄漏是否合格。 
氦是除氫之外最輕的氣體，這正是氦檢所利用的，當氦氣注入被測管道時，在自然狀態下會垂直向上擴散，如果管道有泄漏，我們可以通過氦氣檢測儀檢測氦氣的百分比濃度，利用氦氣分子很小，很容易進入那些肉眼檢測不到的小孔，來判斷管道系統的泄漏率是否符合國家標準。這就是管道氦氣檢漏的方法。 對于一些高精度的精細電子元件，要測試的元件放在一個充滿氦氣的容器中，并加壓；在壓力的作用下，如果這些部件有泄漏點，氦氣必然會通過這些小孔進入部件。用壓縮空氣吹掃元件表面少量殘留的氦氣后，用質譜儀檢測元件表面泄漏的氦氣。氦氣濃度檢測工采網技術工程師推薦使用熱導式氣體傳感器：
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