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系統背景 電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數，為了表 征工藝質量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻 率。半導體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針 法具有設備簡單、操作方便、測量精度高以及對樣品形 狀無嚴格要求的特點。因此，目前檢測半導體材料電 阻率，尤其對于薄膜樣品來說，四探針是較常用的方法。 四探針技術要求使用四根探針等間距的接觸到材料表 面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時，測試中間 兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過樣品的幾何參數， 輸出電流源和測到的電壓值來計算得出。 四探針法測量半導體電阻率測試方案，使用美國吉時 利公司開發的高精度源測量單元（SMU），既可以在 輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流。 輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨 率高達微伏級。支持四線開爾文模式，因此適用于四 探針測試，可以簡化測試連接，得到準確的測試結果。 方案特點 ● 系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合 國標硅單晶電阻率測試標準，測試結束后直接從電 腦端讀取計算結果，方便后續數據的處理分析。 ● 提供正向 / 反向電流換向測試，可以通過電流換向 消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值 ● 四探針頭采用碳化鎢材質，間距 1 毫米，探針位置 精確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程。 針對不同材料的待測件，提供多種不同間距，不同 針尖直徑的針頭選項 ● 探針臺具備粗 / 細兩級高度調整，細微調整時，高 度分辨率高達 2 微米，精密控制探針頭與被測物之 間的距離，防止針頭對被測物的損害 ● 載物盤表面采用絕緣特氟龍圖層，降低漏電流造成的測試誤差 軟件功能 ● 輸出電流并測試電壓，電阻，電阻率，電導率，薄層電阻等，記錄數據，并根據測試結果繪制曲線 ● 軟件在 Windows 7/8/10 平臺下使用，測試方法符合 GB/T 1551/1552 等國家測試標準 ● 提供多種修正參數幫助提高電阻率測試精度 ● 配合吉時利 2450/2460/2461 高精度源表使用，確保測試精度和一致性 系統結構 ● 系統主要由吉時利源表（SMU）、四探針臺和上位 機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面 板排線接口連接到源表上。 系統指標 ● 電阻率測試范圍：0.001Ω • cm ~ 1MΩ • cm ● 探針頭壓力合力：S 型懸臂式彈簧，合力 6~10 N ● 絕緣電阻：500V 下 > 1GΩ ● 系統誤差：< 2% (< 0.2% ● 針尖壓痕直徑：25 um~450um 不同規格可選 ● 探針臺尺寸：240mm x 160mm x 280mm 系統配置 ● 2450/2460 ● 四探針探針臺 ● 四探針針頭 ● 源表端四線香蕉頭連接線 ● 四探針測試軟件 如需了解更多，歡迎您了解西安安泰測試設備有限公司，訪問安泰測試網。
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發表于 2022-5-6 08:50:46
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