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某一維線性尺度遠遠小于它的其他二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金屬或有機物層。 薄膜材料：薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料需要對其電學特性進行分析，不是本方案針對的對象。電子薄膜又可以分為導電薄膜，介質薄膜，半導體薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學性質的重要參數。 一．電子薄膜材料表面電阻測試：表面電阻率測試常用方法是四探針法和范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應用。多數情況下，電子薄膜材料電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。 二．電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰： 1）電子薄膜種類多，電阻率特性不同（ 需選擇適合的SMU進行測試） 2）被測樣品形狀復雜，需選擇適當的修正參數（厚度修正系數對測試結果的影響F（W/S）原片直徑修正系數對測試結果的影響溫度修正系數對測試結果的影響） 3）環境對測試結果有影響（利用電流換向測試消除熱電勢誤差） 4）利用多次平均提高測試精度（需考慮測試成本） 三．吉時利電子薄膜材料測試方案： 1）通用配置 a.吉時利源表2450/2460/2461 b.四探針臺（間距1mm） c.測試軟件（安泰測試系統集成可開發） 2）高阻電子薄膜材料測試方案 a.6221/2182A+6514X2+2000DMM b.第三方探針臺 c.手動或軟件編程 四．方案優勢： 1、不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求； 2、高精度源表，即可手動測試，也可以編程自動測試； 3、高性價比。 吉時利源表作為電學測量的常用儀器，在高校和研究所的相關實驗室內幾乎都能看到，源表集多表合一、配上專業軟件可以實現各種定制測量，使用非常廣泛。 安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴，專業提供設備選型和測試方案的提供，為多家企業和院校提供吉時利源表現場演示，并獲得客戶的高度認可，如果您想了解吉時利源表更多應用方案，歡迎訪問安泰測試官網。 |
