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為確保高可靠性，Nanomix公司對(duì)基于碳納米管技術(shù)的FET進(jìn)行了晶圓級(jí)測試，在模擬使用條件下對(duì)封裝的納米管傳感器進(jìn)行了測試。 傳感器的生產(chǎn) 位于加州埃默里維爾市的Nanomix公司是最先面向市場推出納米電子探測設(shè)備的公司，并不斷開發(fā)它的SensationTM碳納米管（CNT）技 術(shù)實(shí)現(xiàn)高附加值診斷與監(jiān)測應(yīng)用。目前該公司的產(chǎn)品包括呼吸氣體監(jiān)測設(shè)備和用于各種應(yīng)用的液體介質(zhì)生物分子探測器。 極具代表性的是，Nanomix傳感器是基于采用化學(xué)汽相淀積工藝和某些特殊方法在6英寸晶圓上制備的CNT網(wǎng)絡(luò)FET制成的。有時(shí)候采用了柔性襯底和噴涂工藝。CNT網(wǎng)絡(luò)上噴涂了一層功能層，與感興趣的化學(xué)或生物分析物相互作用。功能層和分析物之間的相互作用會(huì)使FET的電氣特征產(chǎn)生可測量的變化。如圖1所示。利用CNT的納米級(jí)直徑及其化學(xué)和電氣特性可以進(jìn)行超靈敏的探測。最終形成的傳感器不但尺寸精巧，而且功耗極低。 在生產(chǎn)過程中，我們需要在晶圓級(jí)進(jìn)行測試以評(píng)測FET的基本特征。在FET功能形成后，將封裝后的器件暴露給目標(biāo)分析物，然后分析它們的探測特征。 下載： 
測試系統(tǒng)是開啟納米技術(shù)實(shí)際應(yīng)用之門的鑰匙.pdf
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