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來源：myDrivers 中國集成電路制造年會近日邀請到了光刻機霸主ASML（阿斯麥）中國區(qū)總裁沈波參加，他出面解答了一些媒體關心的話題。 盡管UMC（聯(lián)電）和Globalfoundries（格芯）先后宣布放棄7nm制程及更先進工藝的研發(fā)，但ASML依然對EUV光刻機的前景表示樂觀。 此前有消息指出，中芯國際（SMIC）今年已向ASML訂購了一臺EUV光刻機，預計明年交付，用于7nm節(jié)點。 同時，傳統(tǒng)的沉浸式光刻機方面，沈波稱，今年下半年ASML已開始出貨家族最先進的NXT:2000i，很快會在中國市場上也見到。 另外，媒體早先有報道稱，長江存儲、上海華虹半導體分別向ASML訂購了193納米浸沒式光刻機和193納米雙工件臺沉浸式光刻機NXT:1980Di，分別用于存儲芯片制造、晶圓代工。 據(jù)悉，ASML今年第一季度和第二季度的財報顯示，大陸市場的銷售收入占比達到了20%左右，已與美國持平，且超過了臺灣地區(qū)。 ASML今年的EUV光刻機產(chǎn)能將達到20臺，明后兩年將逐步提升到40臺。 |
