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MEMS Analysis Tool 3D動態(tài)實時分析工具

發(fā)布時間:2017-11-16 14:51    發(fā)布者:lynceetec
MEMS Analysis Tool

MEMS Analysis Tool是一個后分析軟件。它提供了量化和精確的3D空間和頻率分析,時間序列的形貌圖(4D),通過DHM®同時拍攝面內(nèi)和離面運動,離面運動精度達到MEMS激光測振儀精度,面內(nèi)運動精度則遠超MEMS測振儀精度,達到了1nm


MEMS Analysis Tool是基于DHM數(shù)字全息顯微鏡一款軟件,數(shù)字全息顯微鏡DHM基于菲涅爾衍射的重建算法,僅需0.001秒采集單張全息圖即可得到實時3D形貌信息,無需掃描,在MEMS的設(shè)計與研究中有著獨特的優(yōu)勢。此外,在形貌檢測、形變測量、實時大面積形貌監(jiān)測等也有廣泛應(yīng)用。

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測量任何MEMS參數(shù)

模式的形狀

振動圖:振幅與相位

  位移,速度和加速度

沿著任何方向

在視野里的任何地方

對于任何結(jié)構(gòu)

頻率響應(yīng)

電響應(yīng)

  
        

1、面內(nèi)和離面運動同時記錄

   
     
  
[img=232,175][/img]仿真比較和測量

  在任何時間任何地方,分析您的數(shù)據(jù)

導(dǎo)出數(shù)據(jù)以開放格式進行高級分析

定義您自己的分析模板,以比較有效的樣本批次

  高效宣傳您的工作

測量您以前不能測量的樣本

用視頻演示出版物和會議演示

  
        

2、不同頻率下的諧振模態(tài)

   
     
  
面內(nèi)--離面運動分析

在平面--離面分析中的高級算法

MEMS分析工具包含了強大的算法,可以分析MEMS的三維時間序列圖在面內(nèi)和離面的位移。

研究微小振動

邊緣跟蹤,傅里葉和子像素算法

平面內(nèi)低至納米

平面外低至皮米

對于大位移

模型跟蹤算法

在平面內(nèi)大到毫米量級

離面達到數(shù)十微米

復(fù)雜運動和幾何圖形的表征

板傾斜

旋轉(zhuǎn)

移動部件有孔和結(jié)構(gòu)

鏈接到出版物

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頻域分析

一個完整的頻率響應(yīng)分析工具箱

頻率響應(yīng)是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在時域和頻域之間切換的幾種方法。這種分析可以應(yīng)用于平面位移和非平面位移,也可以應(yīng)用于頻閃觀測模塊的電氣記錄。

波德分析

波德相位和振幅的關(guān)系圖


Q 因子

傅里葉分析

從時域到頻域的傅里葉變換

從頻域到時域的傅里葉濾波

諧波分析

基本的,第二,第三和第四諧波振幅

應(yīng)用實例:MEMS麥克風(fēng)和揚聲器

模態(tài)分析

模式形狀,與模擬仿真有效的比較

MEMS分析工具可以對4D地形和模式形狀序列進行可視化分析。當(dāng)振動的振幅比結(jié)構(gòu)尺寸小得多,并且與模擬結(jié)果進行有效的比較時,這種第二表示非常有用。

4D陣列分析

獨特的4 d分析工具

MEMS工具包括有效的工具,支持動態(tài)4D數(shù)據(jù)分析。輪廓切割,網(wǎng)格是其他獨特的工具,它將給你的設(shè)備帶來新的見解,革新他們的發(fā)展。數(shù)據(jù)可以作為文本文件或視頻圖像序列導(dǎo)出。

“array”工具,用于多設(shè)備分析

結(jié)構(gòu)陣列的快速分析

個人設(shè)備之間的交叉對話

適用于大型設(shè)備的配合

快速分析:無需在測量前定義一個網(wǎng)格!

“Dynamic profile cut”工具

幾乎是無限的積分

膜破裂電壓的測定

多倍器件偏轉(zhuǎn)的定量比較

超聲傳感器.gif (536.71 KB)
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