MEMS Analysis Tool
采用數字全息原理，CCD記錄樣品全息圖，根據全息圖包含的相位信息實時重建三維形貌。做到了縱向亞納米分辨率，1000fps采集速率�？梢栽跇悠飞先我恻c測量xyz復雜運動位移、振幅、速度、頻率和三維形貌等信息，還可掃頻進行諧振研究。
如圖所示壓電陶瓷執行器，選取了三點進行xyz方向振幅位移頻率等測量，采取4路正弦電源相位分別相差90°，研究其行波運動。
koala_副本.jpg
Koala software
-MEMS Analysis Tool.jpg
MEMS Analysis Tool
MEMS-Analysis-tool-Array-tracking.gif
陣列分析工具
MEMS-Analysis-Tool-Mode-Shape-1.gif
mode 1
MEMS-面內-離面運動振幅-速度-加速度-相位.png
振幅位移
伯德圖-MEMS-Analysis-tool.png
伯德圖
諧振分析-MEMS-Analysis-tool.png
諧振分析
Acoustic-MEMS-Microphone-250kHz-sample2-crop.gif
硅麥
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