新方法——對MEMS器件面內(nèi)和離面運(yùn)動同步實(shí)時(shí)跟蹤，樣片展示

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新方法拍了一些樣片給大家看
MEMS動態(tài)表征應(yīng)用案例：1、MEMS麥克風(fēng) 2、慣性傳感器 3、MEMS微執(zhí)行器 4、MEMS微鏡 5、微熱板 6、MEMS懸臂梁配合MEMS頻閃模塊測量 7、超聲傳感器 8、24.7MHz表面聲波

MEMS麥克風(fēng)                                                                            慣性傳感器

MEMS微執(zhí)行器


全息法對于
離面運(yùn)動的測量達(dá)到了MEMS激光測振儀的精度，面內(nèi)運(yùn)動的測量精度達(dá)到了1納米，則遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過目前市場上MEMS分析儀的測量精度。
大家怎么看？

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表征MEMS器件的實(shí)時(shí)動態(tài)響應(yīng)，可以訪問www.raysci.com了解DHM的應(yīng)用。

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數(shù)字全息技術(shù)對比傳統(tǒng)AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是無需掃描實(shí)時(shí)成像的方式，只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實(shí)時(shí)三維形貌。

資料來自lyncee tec數(shù)字全息顯微鏡。采用數(shù)字全息技術(shù)，采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖，計(jì)算機(jī)根據(jù)全息圖中包含的相位信息實(shí)時(shí)數(shù)值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光，縱向提供了激光干涉級別的亞納米精度。

孽庸冢

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傲琪電子

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