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MEMS 技術及其應用 李德勝 等編著 出版社：哈爾濱工業大學出版社 出版日期：2002年3月 本書共有八章，在概述微機電技術的發展背景、現狀及應用前景的基礎上，介紹了MEMS基本理論，隨后對MEMS相關工藝做了詳盡的講述。作為MEMS應用，分別介紹了數種典型的物理量傳感器和化學量傳感器的工作原理及制造工藝，對各類微操作器、微機械零件及電系統也做了比較詳細的論述，最后開辟一章介紹了生物芯片相關技術。 本書可作為微電子、機電一體化、精密儀器及儀器儀表等專業高年級的教學參考書，也可供其他專業師生及有關工程技術人員參考。 
MEMS技術及其應用.pdf
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