MEMS技術(shù)及其應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間：2011-1-11 22:14 發(fā)布者：看門狗

關(guān)鍵詞： MEMS

MEMS 技術(shù)及其應(yīng)用
李德勝等編著
出版社：哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社
出版日期：2002年3月

本書共有八章，在概述微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展背景、現(xiàn)狀及應(yīng)用前景的基礎(chǔ)上，介紹了MEMS基本理論，隨后對MEMS相關(guān)工藝做了詳盡的講述。作為MEMS應(yīng)用，分別介紹了數(shù)種典型的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器的工作原理及制造工藝，對各類微操作器、微機(jī)械零件及電系統(tǒng)也做了比較詳細(xì)的論述，最后開辟一章介紹了生物芯片相關(guān)技術(shù)。

本書可作為微電子、機(jī)電一體化、精密儀器及儀器儀表等專業(yè)高年級的教學(xué)參考書，也可供其他專業(yè)師生及有關(guān)工程技術(shù)人員參考。

MEMS技術(shù)及其應(yīng)用.pdf (14.31 MB)

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