作 者： （美）夸克等 著，韓鄭生等 譯 出 版 社： 電子工業出版社 出版時間： 2004-1-1 定 價： 55元 在半導體領域，技術的變化遵循著摩爾定律的快速節奏，是以月而不是以年為單位計的。本書詳細追述了半導體發展的歷史并吸收了當今最新技術資料，學術界和工業界都稱贊這是一本目前在市場上能得到的最全面、最先進的教材。全書共分20章，章節根據應用于半導體制造的主要技術分類來安排，內容包括：與半導體制作相關的基礎技術信息；總體流程圖的工藝模型概況，用流程圖將硅片制造的主要領域連接起來；具本講解每一個主要工藝；集成電路裝配和封裝的后部工藝概況。此外，各章為讀者提供了關于質量測量和故障排除的問題，這些都是會在硅片制造中遇到的實際問題。 本書適合作為高等院校微電子技術專業的教材，也可作為從事半導體制造與研究人員的參考書及公司培訓員工的標準教材。 |
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