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MS/NEMS在全球蓬勃發展，中國大陸作為一個重要的市場也必然有迅速的發展。本刊首次對國內知名的MEMS/NEMS企業做了統計，以對行業發展狀況進行初步的分析。本次統計了28家大陸MEMS研發企業，既包括已成立數十年的老牌公司，也有剛剛成立的新銳公司，遍及8個省級行政區。 地域分布 北京、陜西和江蘇是MEMS/NEMS企業最多的省/直轄市，上海、重慶也有較多企業。山東、河北、遼寧和廣東四省也有相關企業。 北京地區的高校和研究所眾多，科研實力雄厚，從事MEMS/NEMS研發起步較早，而且政府和有關高校對于科技研究的產業化也給與大力支持。 陜西省教育、科研和工業實力在西部地區排名前列，有為數眾多的高校和研究所，還擁有航空研發和制造基地，包括多家著名的飛機設計所和飛機制造公司，這些都為MEMS/NEMS企業的發展提供了很好的機會。 江蘇省位于東部沿海，財力雄厚，科技發展速度快，整體科技和工業水平均較高。而且江蘇省各地政府部門對于高新技術發展支持力度很大，蘇州市著力打造蘇州工業園區生物納米科技園，希望使其成為生物科技的創新平臺。無錫市積極建設中國微納國際創新園，并將微納米產業作為重點發展對象。 上海市也是院校和科研院所云集，人才濟濟。位于長三角的核心地帶，產業發展的相關條件都十分優越。重慶科研院校為數不少，工業基礎好，有多家老牌的儀器儀表企業，政府亦十分關注MEMS產業的發展并作出了很多努力。 簡評： 這些省市境內一般都有眾多的知名高校和研究所，科技實力領先；地方政府對于科技發展確實重視，有相應的政策和措施來支持微納產業的發展。 產品類型 首先關注兩家加工設備提供商，其中北京七星華創電子股份有限公司的背景是七星華電科技集團，歷史可以追溯到原700廠、706廠、707廠、718廠、797廠、798廠六家國家骨干電子企業，研發實力為國內最強。另一家設備商–創威納科技有限公司的主要技術人員曾在中國科學院微電子中心、清華大學等單位長期從事半導體設備及工藝研究工作，具有較強的產品研發實力。加工設備是行業發展的基礎設備，為了給為國內企業提供持久的技術支持，自主研發加工設備是必由之路。我們期待未來將會有越來越多的自主設備出現在工藝線上。 在MEMS/NEMS器件及系統方面，當前主要產品包括：壓力傳感器、慣性傳感器、聲學傳感器、地震檢波器、生物芯片、微流體芯片、微內窺鏡。 研發壓力傳感器的單位眾多，這也與壓力傳感器在國內研究起步較早有重要關系。在此要重點提到的是寶雞秦明傳感器有限公司，其研發部門前身為寶雞傳感器研究所，是國內最早開展微壓力傳感器研究的單位之一，并且帶動了多家企業，例如位于江蘇的昆山雙橋傳感器測控技術有限公司就與寶雞傳感器研究所頗有淵源。壓力傳感器發展迅速也與市場的巨大需求分不開，廣泛用于工業領域的測試控制、醫療領域、汽車領域，在未來幾年市場還將迎來更大的發展，例如輪胎壓力監測系統（TPMS）。 慣性傳感器一直是MEMS產業的重要推動力量，在國內市場也是如此。北京、河北、陜西、上海均有進行慣性MEMS研發和生產的單位。在此要重點關注的是陜西省，其境內有眾多企業均從事慣性MEMS研發，例如業內頗具名氣的西安中星測控有限公司。這與陜西省的科技發展歷史有關，陜西是重要的航空研發/生產基地，包括中國航空工業集團公司第一飛機設計研究院、西安飛機工業（集團）有限責任公司和陜西飛機工業（集團）有限公司等。目前國內的慣性MEMS在性價比和精度、量程等方面還需提高，以增強競爭力。 聲學傳感器方面，主要有兩家企業：位于山東的歌爾聲學股份有限公司和蘇州敏芯微電子技術有限公司。業已上市的哥爾聲學致力于電聲行業微型電聲元器件和消費類電聲產品的研發和制造，主要產品包括微型麥克風、微型揚聲器/受話器等。蘇州敏芯成立時間較短，但較為活躍，目前主要產品是微型硅麥克風芯片。 地震檢波器在礦產勘探方面應用廣泛，MEMS檢波器以高性價比正逐步獲得更多市場份額。 威海雙豐電子集團有限公司和西安思坦地震技術有限公司致力于這方面的研究，經過十多年的發展已發展了多類產品并應用。 生物醫療領域也有數家企業具有相當實力。博奧生物有限公司已經研發出了多種生物芯片及芯片實驗室，在國內外均有較高的知名度。博奧生物以清華大學、中國醫學科學院等科研單位為技術依托，研發實力當屬一流，但是當前國外相關企業也很多，競爭亦很激烈。重慶金山科技（集團）有限公司的拳頭產品是基于MEMS技術的膠囊內窺鏡和硅微型泵，其中膠囊內窺鏡項目技術達到國際領先。 簡評：產品種類比較少，主要還是慣性器件和壓力傳感器，而且多是中低端產品。一方面這與市場的需求導向有關，另一方面這也反映了國內MEMS/NEMS企業的一個弱點—總體上研發實力不夠，創新性強的新器件、新系統鮮有出現。重慶金山科技的膠囊內窺鏡在這方面表現可圈可點，值得借鑒和學習。 司規模/注冊資本/營業額 注冊資本能在一定程度上反映企業的投資規模和實力，我們對比了能從22家MEMS企業的注冊資本，以從一個方面反映國內MEMS企業的發展狀況。從圖中可以看出，大部分MEMS企業的注冊資本在5000萬以下（占82%），其中注冊資本在500萬以下的約占36%，注冊資本在1000萬-5000萬(不含)的占36%，說明中國大陸的MEMS企業主要是中小企業。注冊資本在1億以上的共有三家，北京七星華創電子股份有限公司、北京博奧生物芯片有限公司和歌爾聲學股份有限公司，注冊資本分別為9億、3.765億和1.2億人民幣。以上三家企業在各自領域都是佼佼者。 總體來看，中國大陸的MEMS企業還有很大的發展潛力。身處全球最大的MEMS市場，國內的MEMS企業有著顯著的市場優勢，而現有的企業數量和發展規模與巨大的市場很不相稱。 研發類型 MEMS是一項新興的技術，最初多來自高校和研究所，或是國企，因此走向產業化的MEMS企業也與高校和研究所有著千絲萬縷的聯系。我們將中國大陸的MEMS企業的發展類型分為三種：源自高校和研究所，源自國企，自主研發。 1. 源自大學、研究所 ◆ 北京青鳥元芯 以“北京大學微電子學研究院“和“微米/納米加工技術國家級重點實驗室“為技術依托。 ◆ 博奧生物 以清華大學、中國醫學科學院等科研單位為技術依托，是生物芯片北京國家工程研究中心。 ◆ 西安維納信息測控有限公司 以西安交通大學為技術依托。 ◆ 上海芯敏微系統技術有限公司 以中科院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室為依托。 ◆ 沈陽匯博實業公司 以沈陽儀器儀表工藝研究所為依托。 ◆ 北京創威納科技有限公司 主要技術人員曾在中國科學院微電子中心、清華大學等單位長期從事半導體設備及工藝研究工作。 ◆ 歌爾聲學股份有限公司 與中科院聲學所、北京郵電大學等國內外多家知名高校和科研機構建立了長期的戰略合作伙伴關系。 2. 源自國企 ◆ 七星華創 北京七星華電科技集團有限責任公司，是在原七○○廠、七○六廠、七○七廠、七一八廠、七九七廠、七九八廠六家建于“一五”期間的國家骨干電子企業的基礎上，重組、改制而成的高科技企業集團。 ◆ 寶雞秦明傳感器有限公司 是我國第一個專業化生產壓阻壓力傳感器技術研究開拓者之一，中國第一個傳感器專業研究所—寶雞傳感器研究所是其開發研究中心，是集科研，生產，銷售為一體的國有企業。 ◆ 昆山雙橋傳感器有限公司 其總經理王總原任寶雞秦嶺晶體廠總工程師，寶雞傳感器研究所所長。 3. 自主研發/歸國創業 ◆ 重慶金山科技（集團）有限公司 自主研發。 ◆ 蘇州敏芯微電子技術有限公司 海外留學人員創業。 ◆ 深迪半導體(上海)有限公司 海外歸國人員創業。 總體來說，目前國內的MEMS企業的研發大多是依托高校、研究所，或者本身就是具有研發能力的國有企業。近年來海外留學人員歸國創立的MEMS企業也越來越多。自主研發的民企中，重慶金山是出色的代表，其標志產品“膠囊內窺鏡”即為其自主研發。我們也希望看到越來越多的有特色的MEMS企業涌現。 |
