上海交通大學先進電子材料與器件（AEMD）校級平臺工程技術人員招聘

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先進電子材料與器件校級平臺（以下簡稱“AEMD平臺”）創建于2012年，是為全校科研工
作提供服務的大型儀器設備校級共享平臺，具備10nm至微米級微納器件與圖形的加工與測
試能。AEMD平臺在學校各級領導的大力支持下，成為相關學科依托發展的重要支撐力，同
時也為科研工作提供完善的保障。

AEMD平臺分別座落于交大閔行校區微電子大樓一層（西區）以及綜合實驗樓一層（東區）
，實驗室共有近1510m2的100級、1000級凈化室，其中100級210 m2，1000級約1300m2。除
此之外，平臺還擁用近250m2非凈化測試加工區。

平臺建設有一條能對硅、玻璃和有機材料進行微納米加工的3～6英寸半導體級實驗線（西
區實驗室）以及一條3～4英寸非硅/MEMS微納加工實驗線（東區實驗室），部分設備可實現
8英寸基片加工。平臺擁有電子束曝光系統、雙束聚焦離子束系統、雙面對準紫外光刻機（
3臺）、熱壓/紫外納米壓印系統、涂膠顯影系統（3套）、微波去膠機（3臺）、氧化擴散
爐（5管，2套）、多晶硅/氮化硅LPCVD爐（2管）、快速熱處理設備、濕法清洗刻蝕臺（1
2臺套）、多靶磁控濺射系統（4臺套）、超高真空磁控濺射系統、電子束蒸發設備（2套）
、離子束濺射機、離子束刻蝕機、等離子增強化學氣相沉積設備、金屬反應離子刻蝕設備
、介質反應離子刻蝕設備、深硅刻蝕系統（2套）、微電鑄/電鍍系統、OLED器件實驗制備
系統、基片拋磨設備、砂輪切片系統、場發射掃描電鏡、原子力顯微鏡、半導體參數測試
儀（2套）、霍爾效應儀、四探針測試儀、表面輪廓儀（3臺）、紫外膜厚儀等先進的微納
加工與測試設備，具備10nm至微米級微納器件與圖形的加工與測試能力。

AEMD平臺的創建提高了我校大型儀器的利用水平，并為跨學科的交叉研究、國內外的合作
提供了平臺，也為高層次的人才培養提供了良好的實驗基地；平臺也向社會相關科研機構
與企業公開開放，提供相關項目合作與微納加工服務。

現為平臺發展之需，特向社會公開招聘工程技術人員（教輔類）若干名，要求如下：

招聘崗位1：光刻工藝工程師/工藝員

招聘條件
1.微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業，大專以上生學
歷,；
2. 有相關半導體工作經驗者優先考慮；
3.有較強的敬業精神、創新能力及團隊合作能力。
崗位職責
1、負責AEMD光刻機、晶圓鍵合機、納米壓印機和tracker及相關設備的日常管理、使用
及維護等。
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD光刻機、晶圓鍵合機、納米壓印機和tracker及其輔助設備的工藝開發。
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


招聘崗位2：電子束光刻工藝工程師

招聘條件
1.微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業研究生學歷；
2. 有相關電子束光刻及半導體工作經驗者優先考慮；
3. 有較好的英語口語、閱讀及書寫能力；
4、有較強的敬業精神、創新能力及團隊合作能力。
崗位職責
1、負責AEMD電子束光刻系統相關設備的日常管理、使用及維護等。
2、負責AEMD平臺用戶的使用相關設備的設備操作培訓。
3、負責AEMD電子束光刻系統及其輔助設備的工藝開發。
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


招聘崗位3：薄膜工藝工程師/工藝員

招聘條件
1.微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業，大專以上學歷
；
2. 有相關半導體工作經驗者優先考慮；
3.有較強的敬業精神、創新能力及團隊合作能力。
崗位職責
1、負責AEMD主要化學氣相沉積設備（PECVD, ICPCVD等）和干法刻蝕設備（RIE、
ICP-RIE等）的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD化學相沉積工藝與干法刻蝕工藝的開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。

招聘崗位4：濕法工藝工程師/工藝員
招聘條件
1、材料、化學、半導體等相關專業大專以上學歷；；
2、有相關化學及半導體工作經驗者優先考慮；
3、 良好的團隊合作與溝通能力。
崗位職責
1、負責AEMD濕法區的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD濕法相關工藝的開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


招聘崗位5：測試工藝工程師/工藝員
招聘條件
1.微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業大專以上學歷；

2.有相關半導體工作經驗者優先考慮；
3.有較強的敬業精神、創新能力及團隊合作能力。
崗位職責
1、負責AEMD測試設備（FIB、SEM、AFM等）的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD測試相關工藝的開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


招聘崗位6：電鍍工藝工程師/工藝員
招聘條件
1、材料、化學、半導體等相關專業大專以上學歷；；
2、有相關電鍍、化學及半導體工作經驗者優先考慮；
3、 良好的團隊合作與溝通能力。
崗位職責
1、負責AEMD電鍍設備的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD電鍍相關工藝的開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


招聘崗位7：后道封裝工藝工程師/工藝員
招聘條件
1、微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業大專以上學歷；
2、有相關封裝、磨拋及半導體工作經驗者優先考慮；
3、良好的團隊合作與溝通能力。
崗位職責
1、負責AEMD后道封裝、磨拋、切削設備的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關設備的操作培訓和使用管理；
3、協助AEMD后道相關工藝的開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。

招聘崗位8：缺陷測試工藝工程師/工藝員
招聘條件
1、微電子學與固體電子學、電子科學與技術、物理學、材料學等相關專業大專以上學歷；
2、有相關測試及半導體工作經驗者優先考慮；
3、良好的團隊合作與溝通能力。
崗位職責
1、負責AEMD工藝過程缺陷測試、分析及控制等；
2、協助AEMD相關工藝的開發；
3、領導交辦的其他工藝相關研發工作。

招聘崗位9：軟件工程師
招聘條件
1、計算機、軟件等相關專業大專以上學歷；
2、有相關工作經驗者優先考慮；
3、良好的團隊合作與溝通能力。
崗位職責
1、負責AEMD平臺軟件、網站的日常管理、使用及維護等；
2、負責相關軟件的操作培訓和使用管理；
3、負責AEMD平臺軟件及網站的升級、改版及開發；
4、領導交辦的其他工藝相關研發工作。


崗位待遇
根據上海交通大學有關規定執行
其他
有意者請直接網上應聘 并將簡歷發送至聯系郵箱（請見聯系方式）

聯系方式
聯系人：王老師、韓老師
TEL：34207734； E-mail：wangying@sjtu.edu.cn或xiaojiahan@sjtu.edu.cn
聯系地址：上海市東川路800號