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BANNER傳感器應用舉例:晶片處理

發布時間:2010-7-27 12:51    發布者:lavida
關鍵詞: BANNER , 傳感器 , 晶片處理
■晶片盒檢測
應用:檢測浸沒在去離子溶液中傳送帶上的晶片盒的到位
傳感器型號:D12SN6FP配用對射式塑料光纖PIE46UT
應用舉例說明:硅晶片在進行下一道工序前需裝于晶片盒中通過浸潤在去離子溶液中的傳送帶進行運輸。鈦氟瓏外殼的塑料光纖安裝于傳送帶兩側,光纖檢測頭可完全浸潤在溶液中,晶片盒遮擋光纖光束后,傳感器輸出導通。




■晶片定位
應用:對半導體晶片“平端”進行定位
傳感器型號:兩支D12SN6FPY傳感器及對射式塑料光纖PIF26U
應用舉例說明:半導體晶片在定位夾具中進行旋轉,當兩束對射式光纖通路時,即檢測到晶片“平端”,旋轉停止,D12高速響應時間(50微秒)保證了停止位置的重復精度。




■晶片盒中晶片定位
應用:檢測晶片邊緣進行定位
傳感器型號:PicoDot系列PD45VN6C100
應用舉例說明:PicoDot系列PD45VN6C100焦距為100mm,焦點直徑很小,檢測極小截面的晶片邊緣,檢測距離應為50mm,此位置光斑稍大,同時具有更高的過量增益。

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